摘要
MEMS陀螺大多数使用电容检测法,其精度不高。提出利用双光干涉方法探测MEMS陀螺中质量块的振动振幅,用相位细分的方法对干涉信号进行处理,实验结果表明能使MEMS陀螺的分辨率在理论上达到0.01°/s(约0.5°/h),为提高MEMS陀螺的检测灵敏度和精度奠定基础。
Currently, most MEMS gyroscopes with capacitive sensing are sold on the market, the accuracy of which is very low. It is proposed to measure micro-vibration displacement of the mass in MEMS gyroscope by dual optical interference and phase detec- tion, and process the interference signal by the circuit of phase subdivision in this paper. The experimental results show that the reso- lution of MEMS gyroscope can reach 0.Ol°/s （equals to 0.5°/h）. The method lays the＇ foundation for improving the detecting sensitivity and accuracy.
出处
《科技视界》
2012年第16期8-11,263,共5页
Science & Technology Vision
基金
"重庆市科委自然科学基金"(基金编号:2010BB4223)
"教育部博士点基金"(基金编号:1020607220090142)支助
关键词
MEMS陀螺
双光干涉
相位细分
微位移振动
MEMS Gyroscope
Dual optical interference
Phase subdivision
Micro-vibration displacement
作者简介
作者简介：段永远（1986-），男，重庆大学光电工程学院，硕士研究生，主要研究光电测控与传感技术。
潘英俊（1948-），男，重庆大学光电工程学院，教授，博士生导师，主要主要从事光电测控与传感技术、智能机器人触觉传感技术、信息光学理论与应用、微波治疗技术及仪器研制等方面的科研与应用开发工作。
任春华（1974-），女，重庆大学光电工程学院，副教授，主要从事捷联惯导系统的研究。
