摘要
研究了 Al N陶瓷高温氧化对金属化结合强度的影响。在 80 0℃、 10 0 0℃、 12 0 0℃和 140 0℃下对 Al N基片进行了高温处理 ,并用 XRD和 SEM分析了氧化结果。从 12 0 0℃开始 ,基片表面有较明显的氧化 ,140 0℃时 ,基片内部氧化明显。在氧化后的 Al N基片上金属化布线 ,发现表面轻微氧化的 Al N基片和金属化强度有一些提高 ,但氧化过度 ,反而会使金属化结合强度大幅度下降。
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS (China), Vol 19, No 2, P1 2 (Apr 2000) In Chinese The effect of oxidation of AlN substrates on adhesion strength of the printed thick film circuits is researched by means of XRD and SEM In high temperature treatment, AlN substrates are slightly oxidized on the surface at 1 200℃, and heavily oxidized inside at 1 400℃ The adhesion strength can be improved when the substrates slightly oxidized, and reduced considerably when oxidized heavily (5 refs )
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2000年第2期1-2,共2页
Electronic Components And Materials
关键词
金属化
AIN陶瓷
氧化
基片
metallization
AlN substrates
adhesion strength
