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法液空新推氟气清洗方案

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摘要 据报道,法国液化空气集团在已有的载气、特气及前驱材料之外,决定扩大其产品范围,向客户提供一种新型的氟气清洗解决方案。这是法液空集团顺应电子行业清洗气需求增势所采取的重大战略决策。
出处 《低温与特气》 CAS 2012年第1期51-51,共1页 Low Temperature and Specialty Gases

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