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法液空新推氟气清洗方案
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摘要
据报道,法国液化空气集团在已有的载气、特气及前驱材料之外,决定扩大其产品范围,向客户提供一种新型的氟气清洗解决方案。这是法液空集团顺应电子行业清洗气需求增势所采取的重大战略决策。
出处
《低温与特气》
CAS
2012年第1期51-51,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
清洗气
氟气
产品范围
电子行业
载气
液化
特气
分类号
TQ114.1 [化学工程—无机化工]
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低温与特气
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