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高精度气体微流量计工作用容积的测量 被引量:6

Working Volume Measurement of a High-precision Gas Micro-flowmeter
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摘要 作为气体微流量标准的高精度气体微流量计主要用于气体微流量的测量,其中工作用容积值为气体微流量计的主要工作参数之一,因此气体微流量的测量精度也取决于工作用容积值的测量精度。比较称重法及静态膨胀法两种容积测量方法的优缺点,并根据实际情况采用静态膨胀法测量高精度气体流量计工作用容积,得到工作用容积值,并对测量结果进行不确定度的评定。该测量方法具有可原位置测量、操作简单、测量精度高等优点,满足高精度气体微流量计的要求。 A gas micro-flowmeter is a primary standard used for the measurement and calibration of gas flow.The working volume is one of important parameters,so the measurement and calibration precision of gas flow mainly depends on the precision of volume measurement.Static expansion method was used to measure working volume of high-precision gas micro-flowmeter after the comparison of the gravimetric method and static expansion method.The volume values were gained,and the combined standard uncertainties of measurement results were analyzed.This measurement method has advantages of in situ measurement,simple operation and higher precision.It satisfies all working requirements of high-precision gas micro-flow meter.
机构地区 兰州物理研究所
出处 《机床与液压》 北大核心 2011年第11期85-87,共3页 Machine Tool & Hydraulics
关键词 高精度气体微流量计 容积 静态膨胀法 测量不确定度 High-precision gas micro-flowmeter Volume Static expansion method Measurement uncertainty
作者简介 赵澜(1977-),男,博士研究生,工程师,主要从事气体流量计量研究。电话:0931—4585496,E—mail:zhaolan2001@21cn.com。
  • 相关文献

参考文献7

  • 1MCCULLOH K E, TILFORD C R, EHRLICH C D. Low- range Flowmeters for Use with Vacuum and Leak Standards [ J ]. J Vac Sci Technol A, 1987,5 (3) :376 - 380.
  • 2JOUSTEN K, MESSER G,WANDREY D. A Precision Gas Flowmeter for Vacuum Metrology [ J ]. Vacuum, 1993,44 (2) :135-141.
  • 3李得天.德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介[J].真空科学与技术,2003,23(4):289-294. 被引量:23
  • 4H Ho jo, et al. An Automatic System for Pure Gas Flow-rate Measurements on the 10^-5 - 10^-2 mbarL/s Range [ C ]// Proc 7th Intern Vac Cogn, 1977 : 117.
  • 5CALCATELI A, RAITERI G, RUMIANO G. The IMGC-CNR Flowmeter for Automatic Measurements of Low-range Gas Flows[ J ]. Measurement,2003,34:121 - 132.
  • 6周起春.中国计量科学研究院真空标准简评[J].真空电子技术,1999,12(5):26-32. 被引量:6
  • 7JITSCHIN W, MIGWIT J K, GROSSE G. Gauge Calibration in the High and Medium Vacuum Range by a Series Expan- sion Standard [ J ]. Vacuum, 1990, 41 ( 7/8/9 ) : 1799 - 1801.

二级参考文献42

  • 1关爱和.二十世纪中国近代文学研究述评[J].中州学刊,1999(6):139-144. 被引量:7
  • 2徐中玉.略谈中国近代诗词理论的发展[J].文艺理论研究,1992(2):52-60. 被引量:3
  • 3李旺奎.西德PTB的真空计量[J].真空与低温,1988,7(4):39-39.
  • 4天津市标准计量局 北京仪器厂 等.静态膨胀法真空标准装置研究报告[M].,1978..
  • 5-.对两级膨胀标准技改报告[M].计量院,1997..
  • 6-.新型膨胀法真空标准研制报告[M].计量院,1985..
  • 7计量院 沈阳真空技术研究所.动态流导法真空标准[J].真空,1977,.
  • 8周起春.高真空相对校准装置[J].真空,1987,1.
  • 9-.真空漏率标准研制报告[M].计量院,1997..
  • 10Pouter K F 黄振邦等(译).真空规的校准[J].真空,1979,4.

共引文献24

同被引文献36

引证文献6

二级引证文献9

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