高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析

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摘要详细介绍了基于硅片ＣＨＩＰ中心坐标的高精度逐场调焦调平控制系统数学模型，并简要给出了系统控制算法。

作者张津姚汉民唐小萍胡淞

机构地区中国科学院光电技术研究所

出处《电子工业专用设备》 1999年第2期10-14,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词逐场调焦调平数学模型控制系统硅片曝光

1张津,姚汉民,唐小平,胡淞.高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究[J].微细加工技术,1999(3):35-40. 被引量：1
2张雅丽.试论数字化控制开关电源技术[J].职业,2009,0(6X):111-111.
3曾爱军,王向朝,徐德衍.投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展[J].激光与光电子学进展,2004,41(7):24-30. 被引量：19
4肖倩,陈旭南,罗先刚.亚半微米投影曝光机的逐场调焦调平技术[J].电子工业专用设备,1997,26(4):23-26. 被引量：4
5张宇星,梁晖.PWM逆变器在并联型有源电力滤波器中的应用[J].中国科技信息,2008(15):132-134.
6李铁,柯熙政,谌娟,宁伟刚.相干光检测系统中的偏振控制[J].红外与激光工程,2012,41(11):3069-3074. 被引量：10
7光电子技术[J].中国无线电电子学文摘,2000(2):13-35.
8赖鑫.射频干扰对消技术的系统设计与仿真分析[J].电讯技术,2013,53(3):259-264. 被引量：15
9姜文汉,吴旭斌,凌宁,李华贵,鲜浩,王春红,荣志钧,黄树辅,李梅,刘赤宇.37单元自适应光学系统[J].光电工程,1995,22(1):38-45. 被引量：2
10刘珍阳,王毅.基于仿真视频的光电跟踪器测试[J].光电技术应用,2013,28(3):68-72. 被引量：2

电子工业专用设备

1999年第2期

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