用于金刚石薄膜低压气相合成的ECR—PECVD装置

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摘要低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。

作者杨基南廖佐升吴京波魏庆生

机构地区机械电子工业部第

出处《微细加工技术》 1990年第2期22-24,共3页 Microfabrication Technology

关键词金刚石薄膜气相合成 PECVD装置

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微细加工技术

1990年第2期

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