摘要
概述了光热偏转成像原理,搭建了热波成像光热偏转自动化检测系统,并实现了数据采集和数据处理的自动化.利用该实验系统绘制了直线划痕SrBT样品和三角划痕硅片样品的表面光热偏转图,成像结果清晰直观.
The theory of photo-thermal deflection detecting is introduced. A photo-thermal deflec- tion auto-detecting system for thermal wave imaging is designed and constructed, which can collect and process data automatically. The photo-thermal deflection pictures of the beeline nick for SrBT and the triangle nick for Si are taken by this system, which are fairly clear and intuitive.
出处
《物理实验》
北大核心
2010年第3期1-3,11,共4页
Physics Experimentation
基金
滨州学院科研基金(No.BZXYQNLG200723)
关键词
光热偏转技术
热波成像
自动测量
photo-thermal deflection
thermal wave imaging
automatic measurement
作者简介
侯庆军（1979-），男，山东济宁人，滨州学院物理系助教，硕士，从事光声热理论与技术方面的研究．
通讯作者：娄本浊（1982-），男，山东济南人，陕西理工学院物理系讲师，硕士，主要从事光电检测技术与理论的研究．
