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激光/红外双波段减反射膜研究 被引量:2

Deposition of Laser/IR Dual Band Anti-Reflection Coatings
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摘要 在硫化锌、硒化锌两种基底上开展了激光/中波红外、激光/长波红外双波段减反射膜技术研究。通过采用离子辅助沉积以及镀保护膜层等方法,对膜系结构和镀制工艺进行了优化。研制的激光/红外双波段减反射膜不仅具有良好的光学性能,而且具有较强的抗恶劣环境能力,可以满足实际使用要求。 Laser/MWIR and laser/LWlR dual band anti-reflection coatings deposited on ZnS(Znic Sulfide) and ZnSe(Znic selenide) substrates were investigated. The structure and process of these coatings were optimized by means of lAD and deposition of protective coatings. The results show that Laser/IR dual band anti-reflection coatings can meet the requirements of application for its high optical performance and good environmental adaptability.
出处 《光学与光电技术》 2009年第6期52-55,共4页 Optics & Optoelectronic Technology
关键词 减反射膜 双波段 激光/红外 硫化锌 硒化锌 anti-reflection coatings dual band laser/IR ZnS ZnSe
作者简介 杨林峰(1978-),男,工程师,主要从事红外光学薄膜工艺技术研究。E-mail:imgyang@yahoo.com.cn
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引证文献2

二级引证文献12

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