摘要
采用湿法化学腐蚀在气源ＭＢＥＩｎＧａＡｓＰ多量子阱材料上制作了微盘型激光器，直径８μｍ的微盘激光器表现出很好的单模激射特性，阈值泵浦功率为１７０μＷ，激射线宽为１．５ｎｍ．
InGaAsP MQW microdisk lasers were fabricated by using standard photolithography and wet etching. A 8μm diameter microdisk laser demonstrates an excellent single mode lasing characteristics. Its threshold pump power is 170μW and the linewidth is 1.5nm.
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期345-348,共4页
Journal of Infrared and Millimeter Waves
基金
国家自然科学基金
中国科学院"九五"重大项目
中国科学院院长基金
集成光电子学国家重点联合实验室资助
