热成像摄像机

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摘要美国OptoThem公司最近研制成功一种用于半导体缺陷分析的微型热成像系统，该系统包括一台新式的热成像摄像机，后者使用320×240元的非致冷探测器（其灵敏度为0．05℃）、一块20μm的显微透镜和一块宽角透镜，

作者顾聚兴

出处《红外》 CAS 2009年第10期32-32,共1页 Infrared

关键词热成像摄像机热成像系统非致冷探测器缺陷分析微透镜半导体灵敏度宽角

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红外

2009年第10期

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