MOVPE:高速发展的光电子材料技术

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摘要文章综述了光电子材料技术的发展梗概，通过对比分析，从发展趋势上论述了ＭＯＶＰＥ法在生产光电子技术功能材料方面的进展。尤其进入９０年代中期以来，ＭＯＶＰＥ法的应用领域拓宽，发展速度加快，对未来光电子技术功能材料的发展具有不可替代的作用。

作者李玉增

机构地区北京有色金属研究总院

出处《世界有色金属》 1998年第2期25-29,共5页 World Nonferrous Metals

关键词光电子材料 MOVPE技术 VPE LPE MBE

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世界有色金属

1998年第2期

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