摘要
为了评价美国BNS公司反射式256 pixel×256 pixel纯相位液晶空间光调制器(LC SLM)的性能,提出利用泰曼-格林干涉仪对相位调制特性进行干涉测量。实验结果表明,液晶空间光调制器的相位随灰度呈非线性分布,利用反插值法建立线性查找表,校正了器件的非线性,非线性度由原来的17.23%减小到2.85%;中心与边缘的相位调制,在同一灰度级最大相位差达到0.22π,中心相位调制均方根误差是边缘的4倍,说明该器件存在相位调制的不均匀性,中心相位误差较大,在波前控制中应给予校正。
In order to evaluate the performance of a reflective 256 pixelX 256 pixel phase-only liquid crystal spatial light modulator （LC SLM） from American BNS Company, interference measurements are proposed on the characteristics of phase modulation using a Twyman-Green interferometer. Experimental results indicate that the relation between phase and gray level is nonlinear. A linear look up table is established by inverse interpolation to correct the nonlinearity for this device. The nonlinearity decreases to 2.85% from 17.23 %. The phase difference between the centre and the edge is 0.22π on the equal gray level and the root-mean-square error of phase modulation for the centre is 4 times of that for the edge, which shows the phase modulation for this device is nonuniform and the phase error for the centre should be corrected in wave-front control application.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1360-1364,共5页
Chinese Journal of Lasers
关键词
测量
空间光调制器
泰曼-格林干涉仪
相位调制
measurement
spatial light modulator
Twyman-Green interferometer
phase modulation
作者简介
张洪鑫（1966-），女，吉林人，博士研究生，主要从事光电测试和光信息处理方面的研究。E-mail：zhxlj2005@yahoo．com．cn
张健（1944-），男，江苏人，教授，博士生导师，主要从事光电精密测量和空间光信息处理方面的研究。E-mail：zjlab@hit．edu．cn
