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微电子技术发展方向刍议

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摘要本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非硅材料的发展情况。

作者吴孝丽周焱

机构地区平顶山工学院

出处《内江科技》 2007年第10期120-120,190,共2页

关键词微电子技术集成电路技术趋势

分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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参考文献1

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内江科技

2007年第10期

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