摘要
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差原理测量风速和风向。经过风洞测试,传感器可以完成360°风向检测,误差不超过10°。
The design, fabrication and test result of 2-D MEMS wind speed and direction were presented. A circular structure heater resistor was proposed, and four detector resistors were located symmetrically around the chip. The sensor was fabricated on ceramic substrate, using two step MEMS lift-off processes. The wind speed and wind direction were measured from the temperature differences between detectors in constant power mode. Wind tunnel measurements were carried out. The sensor can detect airflow of any direction, with an error of 10 ℃.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期285-287,共3页
Micronanoelectronic Technology
关键词
二维风速传感器
风向传感器
剥离工艺
热温差原理
2-D thermal flow sensor
wind direction sensor
lift-off process
calorimetric flow sensor
作者简介
沈广平（1984-），男，博士研究生，主要研究方向为热流量传感器和微系统设计；
吴剑（1982-）男，硕士研究生，主要研究方向为风速传感器和湿度传感器接口电路设计；
张骅（1982-）男，硕士研究生，主要研究方向为风速传感器的封装；
秦明（1967-），男，教授，博士生导师，主要研究方向为CMOS MEMS传感器设计和研究；
黄庆安（1963-）男，教授，博士生导师，主要从事微电子技术和MEMS的教学和研究。
