摘要
采用超细SnO2粉体，按照MQ—J1工艺制成低功耗C2H5OH气敏元件。该气敏元件将工作温度降低一半以上，而且选择性好，同时简化了常规C2H5OH气敏元件的生产工艺，是一种具有开发前途的气敏元件。
Ultrafine SnO2 powder is used as the base materials of ultrafine ethanol sensors. The ultrafine sensors are found to be a kind of effective sensor with low working temperature, high selectivity and simple fabrication process.
出处
《传感器技术》
CSCD
1997年第4期21-23,共3页
Journal of Transducer Technology
关键词
超细粉体
气敏元件
乙醇
工作温度
Ultrafine particles Gas sensor Ethanol Working temperature
