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使用PSD的高精度三维测量探头的研究 被引量:1

Research on High Precision 3D Measurement Detector Using PSD
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摘要 在三维测量领域中,作为后起之秀的光学式非接触测量,与传统的接触式测量相比,具有测量速度快,工作距离大,受环境电磁场影响小等缺点,但同时也暴露出精度不高,易受被测物体表面影响等缺点。在分析其原理的基础上,提出一套新的方案,将使用位置敏感探测器的光学式三维测量探头的检测与光源控制集成为一个联系紧密的系统。利用这种方法可以在很大程度上克服光学式非接触测量探头在实际应用中遇到的困难。 Optical non-contact measurement in the field of 3D measurement has greatly developed in the last 20 years. Although this technology has achieved great success, its precision is not good enough and it is easy to be effected by the characteristics of measured physical surface. A new schedule is proposed by integrating the measurement module and light source module into one system. Some difficulties while using optical non-contact measurement can be conquered by this new technology.
出处 《科学技术与工程》 2007年第16期4140-4142,共3页 Science Technology and Engineering
关键词 位置敏感探测器 三维测量 半导体激光器 PSD( position sensitive detector) 3D measurement LD(laser diode)
作者简介 朱立峰,中国科学院西安光学精密机械研究所硕士生,研究方向:三维轮廓测量。E-mail:zhulifeng632@163.com。
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