半导体应变计与传感器被引量：4

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摘要自从1954年史密斯(C.S.Smith)发现了半导体材料硅、锗的压阻效应,半个世纪以来,半导体应变计在传感器方面的应用有了长足的进展.不仅使其工艺技术更完善、性能更为稳定,并且使传感器的集成化、微型化以及智能化成为可能.半导体应变计与箔式应变计、薄膜应变计及厚膜应变计一起构成现代传感器的四大关键工艺技术.本文主要介绍半导体应变计的若干特点及其在传感器方面的应用.

作者尹福炎

机构地区航天工业总公司第

出处《传感器世界》 1996年第12期31-41,共11页 Sensor World

关键词半导体应变计应变计传感器

分类号 TH823.3 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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7Japusz Bryzek.The MEMS Industry in Silicon Valley and Its Impact on Senson lechtololgy.Sesors.1996.6.
8Ljnbjsa Ristte.Sensor Techtology and Device.London.Artech House.1994.
9李波,邵玲玲.氧化铝、氢氧化铝的XRD鉴定[J].无机盐工业,2008,40(2):54-57. 被引量：151
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