摘要
在激光干涉测量中,通常以相位差为90°的两路信号进行辨向计数和细分,而在这两路信号中普遍存在着非正交误差、不等幅误差和直流电平漂移误差,这些误差的存在严重地影响了测量结果的精度。因此,设计了以C8051F单片机为核心的电路补偿模块,采用以Heydem ann模型为基础的误差修正方法,对以上3种误差进行了动态补偿,进而实现了纳米级精度的位移测量。
Usually a couple of quadrature signals are used to discerning direction count and subdivision in laser interferometry system. There are quadrature phase shift error, unequal amplitude error and zero offsets error in the two quadraturt signals. The measuring accuracy is influenced by the three errors. Taking microchip computer C8051F as the core of a compensation mode ,the three errors are compensated by Heydemann model. Nano degree of accuracy result displacement measurement is realized.
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第8期43-45,48,共4页
Transducer and Microsystem Technologies
基金
国家自然科学基金资助项目(50105016)
关键词
激光干涉
测量精度
细分误差
误差补偿
laser interferometer
measuring accuracy
subdivision error
error compensation
作者简介
齐永岳（1978-），男，天津人，博士研究生，研究方向为现代传感与测试信息技术。
