扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展被引量：2

The Current Development and Mechanisms of Scanning Probe Lithograph

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摘要文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展,并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。 This paper summarized the current development of scanning probe lithography and introduced the mechanisms of forming nanometer structure.

作者蒋洪奎范真姚汤伟钟俊坚朱春耕

机构地区江苏大学机械学院微纳米技术研究中心浙江师范大学

出处《新技术新工艺》 2006年第1期86-88,共3页 New Technology & New Process

关键词扫描探针刻蚀加工机理进展 scanning probe, lithography, mechanism, development

分类号 TH742.9 [机械工程—光学工程]

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参考文献19

1EJ Van Loenen.,D.Dijkkamp.AJ Hoeren.J.phys,1 989,55(4):1312.
2LA Silva.P,Laitenberger,RE Palmer,J.Var.Sci Technol,1992(11):1993.
3Tegens,Kracke.B,Damaschke B.Rev.Sci.Instrum,1997(68):1458—1460.
4Song JiaQing.Liu Zhongfan,Li chunzong.J.phys,1998,4.A 66(S715):1247-1251.
5Lee Jae Mo,Won Hyuk Jin,Dac Eun kin.Wear,2001,251:1133—1143.
6Bouehiat V,Esleve D.J.Appl.phys,1996,69:3098.
7Marmin H.J.phys,1996,69(4):433.
8Liu GY, Xu S. Acc. chem. ,Res,2000,33:457-466.
9Kim YT, Bard AJ. Langmuir,2000,16:3927-3931.
10Li. W. J , Wirtannen J. A ,Penner R M . J. phys,1992,60(4) :1181.

二级参考文献16

1Mamin H J, Rugar D.Thermomechanical writing with an atomic force microscope tip. Appl Phys Lett, 1992, 61(8):1003～1005
2Mamin H J. Thermal writing using a heated atomic force microscope tip. Appl PhysLett, 1996, 69(3): 433～435
3Sato A, Tsukamoto Y. Nanometer-scale recording and erasing with the scanningtunneling microscope. Nature, 1993, 363: 431～432
4Sato A, Momose S, Tsukamoto Y. Nanometer-scale recording, erasing, and reproducingusing scanning tunneling microscopy. J Vac Sci Technol, 1995, B13: 2832～2836
5Kado H, Tohda T. Nanometer-scale recording on chalcogenide films with an atomicforce microscope. Appl Phys Lett, 1995, 66(2): 2961～2962
6Yano k, Kyogaku , Kuroda R, et al. Nanometer scale conductance change in aLangmuir-Blodgett film with the atomic force microscope. Appl Phys Lett, 1996, 68(2): 188～190
7Barrett R C, Quate C F. Large-scale charge storage by scanning capacitancemicroscopy. Ultramicroscopy, 1992, 42-44: 262～267
8Liu Chong-yang, Pan Horng-long, Fox M A, et al. High-density nanosecond chargetrapping in thin films of the photo conductor ZnODEP. Science, 1993, 261: 897～899
9Matsumoto M, Nishio Y, Tachibana , et al. Switching and memory phenomena of Cu-TCNQthin films triggered by a stimulus with an STM tip. Chem Lett, 1991: 1021～1024
10Gao H J, Wang D W, Liu N, et al. Ultrahigh density data storage on Ag-TCNQ thinfilms by scanning tunneling microscopy. J Vac Sci Technol, 1996, B14(2): 1349～1352

共引文献5

1朱守星,丁建宁,范真,李长生,蔡兰,杨继昌.纳米GeSb_2Te_4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究[J].摩擦学学报,2004,24(5):411-414. 被引量：4
2解国新,丁建宁,范真,付永忠,朱守星.用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究[J].摩擦学学报,2005,25(5):421-425.
3雷晓钧,陈海峰,刘忠范.STM热化学烧孔方式的信息存储——写入脉冲幅值和脉宽对信息点尺寸的影响[J].高等学校化学学报,2001,22(7):1222-1224. 被引量：3
4王志,巴德纯,蔺增.基于SPM技术的纳米信息存储薄膜的研究进展[J].真空,2003(2):7-10. 被引量：1
5朱守星,丁建宁,范真,李长生,蔡兰,杨继昌.超高密度探针存储技术的研究进展[J].江苏大学学报（自然科学版）,2003,24(5):18-22. 被引量：3

同被引文献32

1王宏霞,傅惠南,区仲荣.SPM探针制备的新进展[J].新技术新工艺,2005(2):49-51. 被引量：5
2孙毅.仿生学的发展现状与未来[J].科技信息（吉林）,1997(8):8-9. 被引量：5
3马云海,佟金,周江,荣宝军,任露泉.穿山甲鳞片表面的几何形态特征及其性能[J].电子显微学报,2008,27(4):336-340. 被引量：16
4高峰,任露泉,黄河,于亚莉.沙漠蜥蜴体表抗冲蚀磨损的生物耦合特性[J].农业机械学报,2009,40(1):180-183. 被引量：10
5吴娜,张伏,佟金.臭蜣螂唇基切土减阻的力学分析[J].农业机械学报,2009,40(10):207-210. 被引量：4
6解芳,张林先,刘佐民.生物摩擦学与仿生摩擦学的研究现状及展望[J].南阳理工学院学报,2012,4(2):81-85. 被引量：2
7谭庆仁,周小奋.空化现象及应用[J].物理教学,2014,36(3):77-79. 被引量：3
8ZHANG YuHang,HUANG He,REN LuQuan.Erosion wear experiments and simulation analysis on bionic anti-erosion sample[J].Science China(Technological Sciences),2014,57(3):646-650. 被引量：8
9王滨盐.表面热处理技术的研究动向[J].国外机车车辆工艺,2014(3):1-5. 被引量：2
10厉淦,沈明学,孟祥铠,李纪云,李晓,彭旭东.316L不锈钢沟槽型表面微织构减摩特性实验研究[J].功能材料,2015,46(2):2033-2037. 被引量：17

引证文献2

1葛鑫,王克逸,王梦宇.基于高压针尖极化法的铌酸锂畴结构制备工艺研究[J].新技术新工艺,2017(8):3-6.
2张桔帮,王海军,陈文刚,尹红泽,井培尧.仿生表面织构在农林机械中的研究现状[J].农机化研究,2024,46(3):1-7. 被引量：2

二级引证文献2

1曹彪,杨发展,杨宇,姜芙林,刘朝伟.表面微织构激光加工技术研究进展与应用分析[J].机床与液压,2024,52(22):207-217. 被引量：2
2张震.深松铲耐磨性能的研究现状与建议[J].中国机械,2025(2):75-81.

1蒋洪奎,胡礼广,陆爽,姚汤伟.基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究[J].机械强度,2008,30(4):577-581. 被引量：1
2蒋洪奎,范真,姚汤伟,朱春耕.扫描探针机械刻蚀及DPN新技术[J].机床与液压,2006,34(7):83-84.
3陶威,袁成清,郭智威.表面纹理加工方式对缸套-活塞环摩擦特性的影响[J].润滑与密封,2016,41(12):46-51. 被引量：1
4邵荔宁,孙保和,周景春,翁长志,刘彪.碳化硼材料动压轴承零件的特种加工技术应用[J].航空精密制造技术,2015,51(5):32-34.
5杨健,贺世正.基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用[J].振动工程学报,2004,17(z1):561-563.
6徐德洋,王蓬勃,孙立宁.FPN的影响因素分析及相关应用[J].材料导报,2014,28(19):104-110. 被引量：2
7朱守星,丁建宁,蔡兰,杨继昌.基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展[J].江苏大学学报（自然科学版）,2002,23(3):8-13. 被引量：4
8刘玉德,王西彬,石文天,杨玥,张翔.氧化硫硫杆菌和氧化亚铁硫杆菌生物刻蚀加工的协同作用[J].北京理工大学学报,2010,30(9):1028-1031. 被引量：4
9高健,余丙军,金晨宁,肖晨,钱林茂.不同温度下砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀特性研究[J].摩擦学学报,2016,36(4):475-480. 被引量：1
10李呈德,万盈,陈涛,左铁钏.准分子激光微加工用Schwarzchild物镜设计[J].应用激光,2001,21(1):13-15. 被引量：2

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