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AlGaN材料金属接触的性能和界面结构研究 被引量：1

The Properties and Interface Microstructure of AlGaN Contacts to Metals
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摘要 文章通过A lGaN材料的金属接触制作工艺和接触性能、接触界面显微结构和基础理论研究等诸方面反映A lGaN材料的欧姆接触及势垒接触研究概况和最新进展。 In this paper, the contact of AlGaN to metals forming techniques, its properties, the interface microstruture and physics basic with latest evolution are reviewed.
作者 胡正飞 沈晓明 周盛容 侯艳芳 梁骏吾 李向阳 龚海梅 李雪
机构地区 同济大学材料学院 中国科学院上海技术物理研究所
出处 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期867-872,共6页 Laser & Infrared
关键词 铝镓氮材料 欧姆接触 界面 显微结构 AlGaN ohmic-contact interface microstructure
分类号 TN304.26 [电子电信—物理电子学] TN485 [电子电信—微电子学与固体电子学]
作者简介 胡正飞（1964-）,副教授,博士,从事材料物理研究和教学工作.E-mail：huzhengf@mail.tongji.edu.cn.
  • 相关文献

参考文献44

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共引文献2

同被引文献7

引证文献1

二级引证文献2

激光与红外
2005年 第11期

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