洁净室的湿度控制

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摘要在过去的几十年中,微电子工业市场连同与之相关的工艺都获得了令人瞩目的发展。当微电子市场飞跃发展,并不断被突破时,半导体微芯片的制造工艺日益都在变化。当电路系统的尺寸已经达到被许多人认为是最小极限时,制造工艺的周围环境质量已成为生产成功的关键问题。通过HEPA高效空气过滤器以及工艺过程水净化,人们更加重视洁净室杂质的控制。

作者罗婷

出处《洁净与空调技术》 CAS 1995年第1期30-32,共3页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词洁净室湿度过滤器控制

分类号 TU834.844 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

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洁净与空调技术

1995年第1期

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