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国外超微机电系统研究现状及其应用前景展望 被引量:12

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摘要 超微机电系统是由微米级零部(组)件构成的机电一体化产品,它应用前景广阔,涉及光学、医学、生物工程,微型机器人、微型汽车、微型仪器仪表、微型视频、视听装置及宇航等领域.本文就超微机电系统的发展、关键技术、驱动用超微静电电机及其应用前景展望做一扼要阐述,望能引起同行对此高新技术的重视,并可供作行业和企业制定产品发展规划参考.
作者 陈继生
机构地区 电子部第
出处 《微特电机》 北大核心 1994年第2期35-39,共5页 Small & Special Electrical Machines
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同被引文献43

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引证文献12

二级引证文献26

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