摘要
近年来透明ZnO导电薄膜的优良电性,低廉的制造成本以及简便的制备方法受到了重视。在热镜和多层光热转换系统中,它作为太阳电池的一部分,在取代ITO薄膜等方面具有诱人的应用前景。本文报道了用射频磁控溅射技术及低温处理制备得到的低电阻率和高透明度的ZnO薄膜。 以掺杂3wt％Al_2O_3的氧化锌陶瓷为靶材,用射频磁控溅射技术制备ZnO薄膜。溅射工艺条件见表1。
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第2期219-220,共2页
Acta Energiae Solaris Sinica
基金
中国科学院上海硅酸盐研究所青年科学基金3017资助
