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光栅掩膜版的机械刻划与CAD/激光光绘系统
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摘要
传统的光栅掩膜版制造技术是以机械刻划(浮刻)为主,如欲提高刻划精度,无外乎是在刻划设备(机床)、刻划刀具,夹具上动脑筋,基本上可以说是万变不离其“刻”,然而CAD/激光光绘系统却以全新的面目取代了刻划。本文以制造光栅掩膜版为例,介绍了这两种有着质的区别的“刻划”方法。
作者
熊祥玉
机构地区
中国船舶工业总公司第
出处
《电子工艺技术》
1994年第6期20-22,共3页
Electronics Process Technology
关键词
光栅掩膜版
机械刻划
CAD/激光光绘系统
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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电子工艺技术
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