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大面积硅薄膜的磁增强三极管蚀刻

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作者刘文

出处《等离子体应用技术快报》 1994年第7期8-8,共1页

关键词硅薄膜蚀刻磁增强三极管

分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学] TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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等离子体应用技术快报

1994年第7期

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