等离子镀TiN膜前处理工艺被引量：4

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摘要以常用离子镀TiN膜前处理工艺为基点,试建立前处理工艺流程的联系框图,并对框图中关键工序展开讨论,介绍了实际生产中运用成功的经验。

作者廖钟亮

机构地区江西省科学院

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 1994年第6期281-285,共5页 Surface Technology

关键词氮化钛等离子镀前处理工艺化学清洗

同被引文献31

1袁镇海,罗广南,谢致薇,戴达煌.真空阴极电弧沉积TiN超硬膜的研究[J].广东有色金属学报,1993,3(1):44-49. 被引量：5
2遇衍澄.离子镀技术的发展和现状[J].薄膜科学与技术,1995,8(3):240-249. 被引量：13
3金恒毅,于志明,金柱京.不同底层TiN离子镀复合涂层的研究[J].表面技术,1995,24(1):5-9. 被引量：7
4王玉魁,韩会民,高路斯,王传思,刘云月.基片负偏压对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层结合力的影响[J].机械工程材料,1995,19(2):22-25. 被引量：2
5叶志镇,Z.Zhou,R.Reif.低温气相硅外延前氩微波等离子原位溅射清洗对薄膜界面的损伤[J].真空科学与技术,1995,15(2):113-117. 被引量：4
6周玉福.Au－TiN复合镀层的研究[J].电镀与精饰,1996,18(2):16-18. 被引量：3
7周细应,万润根,陈凯旋.TiN涂层的正交设计工艺分析[J].热加工工艺,1996,25(4):22-23. 被引量：4
8陶琨,何向军,江海,范玉殿,李恒德.IBAD薄膜与基体界面的显微结构[J].材料研究学报,1996,10(2):187-190. 被引量：2
9赵文兵,吴军桥,陈军,吴克,张金龙,李传义,尹道乐,顾镇南,周锡煌,金朝霞.研究C_(60)-金属相互作用的一种新方法[J].北京大学学报（自然科学版）,1996,32(1):45-51. 被引量：1
10于力,刘技文,赵杰,戴少侠,金柱京,王慧君.基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J].金属学报,1996,32(12):1270-1274. 被引量：8

1姜银方.关于基片性质对离子镀膜影响的分析[J].表面技术,1996,25(6):21-24. 被引量：5
2程树英.影响TiN掺金镀装饰膜质量的工艺因素[J].福州大学学报（自然科学版）,1999,27(4):21-23.
3胡芳,代明江,林松盛,李福球,崔晓龙,鲍贤勇.清洗预处理对手表外观件表面镀类金刚石薄膜性能的影响[J].电镀与涂饰,2011,30(3):43-45. 被引量：1
4谢致薇,蒙继龙,王国庆.物理气相沉积薄膜的界面与附着力[J].真空科学与技术,2001,21(3):203-209. 被引量：14

1谭天亚,黄建兵,占美琼,邵建达,范正修.LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的设计及误差分析[J].中国激光,2006,33(2):242-247. 被引量：21
2孙喜莲,邵建达.铬过渡层对银膜光学性质及附着力的影响[J].中国激光,2006,33(12):1680-1683. 被引量：10
3孔德军,张永康,冯爱新,鲁金忠.基于XRD的Al_2O_3纳米薄膜残余应力测试[J].仪器仪表学报,2006,27(12):1619-1622. 被引量：8
4孙喜莲,范正修,邵建达.Al_2O_3和Cr过渡层对Ag膜光学性质及其附着力的影响[J].金属学报,2007,43(3):307-310. 被引量：9
5姜银方.复合涂层附着力的研究[J].表面技术,1997,26(6):18-21. 被引量：3
6姜银方.离子镀统计质量管理及分析[J].江苏理工大学学报（自然科学版）,1997,18(6):95-100.
7姜银方.离子镀复合涂层附着性研究[J].机械科学与技术（江苏）,1997,26(6):49-52.
8杭凌侠,田刚,潘永强.玻璃基底上双波段增透膜的设计与制备[J].西安工业大学学报,2009,29(1):1-3. 被引量：4
9高春森,邓跃全,董发勤,许春凤,解忠雷.Si_3N_4/CrN_x/Ag/NiCrN_X/Si_3N_4复合涂层的光热性能[J].化工新型材料,2010,38(12):91-93. 被引量：1
10谢致薇,蒙继龙,王国庆.物理气相沉积薄膜的界面与附着力[J].真空科学与技术,2001,21(3):203-209. 被引量：14

表面技术

1994年第6期

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