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微型模具制造技术研究与发展 被引量:19

Research and Development of Micromold Manufacture Technology
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摘要 介绍了微型制件及微型模具成形特点 ,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况 ,同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景 。 Based on the introduction to process characteristics of micro parts and micro molds, the machining characteristics of some kinds of micro-machining methods and their applications in micro-mold manufacture were discussed in general, their applicability and development prospect were also mentioned. Emphasis is given to indicate that LIGA technology as a typical lithography will play a very important role in the future development of micromold manufacture technology.
机构地区 大连理工大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期179-183,共5页 China Mechanical Engineering
基金 国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 2 75 0 2 0 )
关键词 微型制件 微细加工 LIGA技术 微型模具制造 micro parts micro-machining LIGA technology micro-mold manufacture
  • 相关文献

参考文献9

二级参考文献42

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共引文献55

同被引文献254

引证文献19

二级引证文献93

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