全集成单片微机电系统(MEMS)面市

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摘要美国Analog Devices Inc.公司已推出价位适中的基于微机电系统(MEMS)的陀螺仪,声称是第一个将所有的机械传感和信号处理电子元器件全部集成在单块芯片上。

作者竟成

出处《中国集成电路》 2002年第12期75-75,共1页 China lntegrated Circuit

关键词微机电系统陀螺仪信号处理电子元器件车辆传感器导航系统芯片加速度计全集成公司

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中国集成电路

2002年第12期

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