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XRD在薄膜结构分析中常见问题的研究 被引量:3

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摘要 研究了X射线衍射(XRD)在薄膜结构分析中常见问题的解决方法,提出了取向生长薄膜的面内晶胞参数的测试及计算方法。实验表明,X射线束的扫描方向对反映的晶体结构信息产生影响。理论推导表明,在计算中选择合适强度和合适峰位的衍射峰,才能得到准确的晶胞参数。
出处 《广西物理》 2010年第4期15-18,共4页 Guangxi Physics
基金 国家自然科学基金项目(51062001) 广西教育厅项目(200911MS148) 广西高校优秀人才资助计划项目(RC2007024)
关键词 XRD 薄膜 晶胞参数
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参考文献2

二级参考文献26

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引证文献3

二级引证文献4

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