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压电薄膜传感器制备工艺的研究 被引量:1

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摘要 集成电路技术发展引领着微电子学电路集成进入了系统集成的时代。集成化芯片系统不仅要强大的运算分析能力、信号处理能力,还要有可以感知外界信号的微传感器,并将运算结果作用于外界环境中的微执行器。本文从微传感器的发展现状着手,分析了压电薄膜传感器的工作原理,并进一步介绍了PVDF压电薄膜传感器的制备工艺。
机构地区 三江学院
出处 《科技风》 2010年第24期226-,共1页
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