摘要
使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)测出.利用白光干涉表面形貌仪,测量了辐照区的溅射刻蚀深度和表面粗糙度,评价了合金成分对薄膜辐照行为的影响.结果表明:适量Re的加入能够显著提高合金薄膜的抗溅射能力.
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第z1期422-425,共4页
Atomic Energy Science and Technology
作者简介
胡殷(1982-),男,重庆铜梁县人,博士研究生,核燃料循环与材料专业 通讯作者:李正操,zcli@tsinghua.edu.cn
