摘要
为了在不锈钢表面制备出高结合力的致密金刚石薄膜,采用磁控溅射制备了不同Si含量Cr/Cr-Si薄膜为过渡层,采用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和Raman光谱等手段进行分析。结果表明,Si含量为12.7%(摩尔分数)时,Cr-Si层由Cr(Si)固溶体组成,Fe原子向外扩散速率降低,金刚石薄膜致密且与不锈钢之间的附着力优异。
In order to adhere diamond film onto stainless steel surface,a Cr/Cr-Si film was selected as an interlayer and deposited via magnetron sputtering.Diamond film was deposited via hot-filament chemical vapor deposition.All the samples were investigated by X-ray diffraction,scanning electron microscopy and Raman spectroscopy,etc..The results show that Cr-Si layer is composed of Cr(Si)solid solution,and the diffusion rate of Fe atoms decreases when Si content is 12.7%(in mole).The diamond film is dense and strongly adhere onto the stainless steel surface.
作者
李晓
刘成
陈道勇
陈成克
李传星
李吉泉
蒋梅燕
胡晓君
LI Xiao;LIU Cheng;CHEN Daoyong;CHEN Chengke;LI Chuanxing;LI Jiquan;JIANG Meiyan;HU Xiaojun(College of Materials Science and Engineering,Zhejiang University of Technology,Hangzhou 310014,China;Aerospace Research Institute of Materials and Processing Technology,Beijing 100076,China;College of Mechanical Engineering,Zhejiang University of Technology,Hangzhou 310014,China)
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期608-614,共7页
Journal of The Chinese Ceramic Society
基金
浙江省自然科学基金项目(LY18E020013)
国家自然科学基金重点项目(U1809210),国家自然科学基金(51575491)
国际科技合作项目(2014DFR51160)
国家重点研发计划中欧国际合作项目(2016YFE0133200)
欧盟地平线2020研究与创新人员交流计划(734578)
浙江省重点研究发展计划一带一路国际合作项目(2018C04021).
关键词
金刚石薄膜
不锈钢
过渡层
铬-硅
diamond film
stainless steel
interlayer
chromium-silicon
作者简介
第一作者:李晓(1981—),男,博士,副教授,E-mail:lixiaobruce@163.com;通信作者:胡晓君(1974—),女,博士,教授,E-mail:huxj@zjut.edu.cn。
