摘要
化学机械抛光(CMP)设备广泛应用于光学加工领域,其对抛光轴精度和稳定性要求高。高精度气体静压轴承因具有精度稳定性和保持性高的特点而广泛应用于超精密加工及检测相关领域。本文面向CMP设备的需求,利用FLUENT对高精度气体静压轴承性能进行承载能力和刚度分析,包括气体静压止推轴承和气体静压径向轴承。结果表明,设计的高精度气体静压轴承能够满足CMP设备的要求。
出处
《中国设备工程》
2019年第24期124-125,共2页
China Plant Engineering
基金
国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202)
国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF).
