期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能
被引量：
2
1
作者
刘邦武
钟思华
+2 位作者
何静
夏洋
李超波
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1264-1267,共4页
采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素;对硅具有较好的减反和...
采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素;对硅具有较好的减反和钝化作用,平均反射率由28.87%降低至10.88%,表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s。
展开更多
关键词
液相沉积
二氧化硅薄膜
钝化
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能
被引量：
2
1
作者
刘邦武
钟思华
何静
夏洋
李超波
机构
f中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1264-1267,共4页
基金
国家自然科学基金(61106060)
中国科学院知识创新工程重大项目(Y2YF028001)
国家高技术研究发展计划(2012AA052401)资助项目
文摘
采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素;对硅具有较好的减反和钝化作用,平均反射率由28.87%降低至10.88%,表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s。
关键词
液相沉积
二氧化硅薄膜
钝化
Keywords
liquid phase deposition
SiO2 film
passivation
分类号
O76 [理学—晶体学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
液相沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能
刘邦武
钟思华
何静
夏洋
李超波
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
