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泡生法生长蓝宝石单晶的热场改进与模拟优化
被引量：
23
1
作者
汪传勇
左然
+1 位作者
Andrey Smirnov
Kirill Mazaev
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期83-87,共5页
在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要。本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进...
在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要。本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进行分析对比。结果表明:改进后的倾斜热屏增强了单晶炉内的辐射传热,对已生长出的晶体起到了后热作用,降低了晶体内的热应力;对加热器和底部钼保温层的改进,减小了加热器与坩埚间的热阻,增强了炉内的保温作用,使加热功率降低了约8%。
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关键词
泡生法
蓝宝石单晶
热场优化
数值模拟
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职称材料
单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟
被引量：
27
2
作者
苏文佳
左然
Vladimir Kalaev
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期524-528,544,共6页
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响。通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟对优化前后晶体和熔体的热场、热屏外表面与石英坩埚内壁面之间的氩气流场以及晶体中的热应力进行分析,...
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响。通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟对优化前后晶体和熔体的热场、热屏外表面与石英坩埚内壁面之间的氩气流场以及晶体中的热应力进行分析,得出以下结论:石墨导流筒的引入减少了炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少了S iO在单晶炉上部的沉积;优化后的热屏减少了加热器对晶体的烘烤,使结晶速率加快;优化后的侧壁炭毡阻止了加热器向上部的热损失。优化后在加热器功耗不变时,结晶速率至少可提高35%,而不增加宏观位错的发生概率。
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关键词
单晶硅
数值模拟
热屏
炭毡
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职称材料
题名
泡生法生长蓝宝石单晶的热场改进与模拟优化
被引量：
23
1
作者
汪传勇
左然
Andrey Smirnov
Kirill Mazaev
机构
江苏大学能源与动力工程学院
str group
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期83-87,共5页
文摘
在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要。本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进行分析对比。结果表明:改进后的倾斜热屏增强了单晶炉内的辐射传热,对已生长出的晶体起到了后热作用,降低了晶体内的热应力;对加热器和底部钼保温层的改进,减小了加热器与坩埚间的热阻,增强了炉内的保温作用,使加热功率降低了约8%。
关键词
泡生法
蓝宝石单晶
热场优化
数值模拟
Keywords
Kyropoulos method
sapphire crystal
thermal field optimization
numerical simulation
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟
被引量：
27
2
作者
苏文佳
左然
Vladimir Kalaev
机构
江苏大学能源与动力工程学院
str group
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期524-528,544,共6页
基金
江苏省普通高校研究生科研创新计划资助项目(No.1291130015)
文摘
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响。通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟对优化前后晶体和熔体的热场、热屏外表面与石英坩埚内壁面之间的氩气流场以及晶体中的热应力进行分析,得出以下结论:石墨导流筒的引入减少了炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少了S iO在单晶炉上部的沉积;优化后的热屏减少了加热器对晶体的烘烤,使结晶速率加快;优化后的侧壁炭毡阻止了加热器向上部的热损失。优化后在加热器功耗不变时,结晶速率至少可提高35%,而不增加宏观位错的发生概率。
关键词
单晶硅
数值模拟
热屏
炭毡
Keywords
Si single crystal
numerical simulation
radiation shield
carbon felt
分类号
O78 [理学—晶体学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
泡生法生长蓝宝石单晶的热场改进与模拟优化
汪传勇
左然
Andrey Smirnov
Kirill Mazaev
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
23
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职称材料
2
单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟
苏文佳
左然
Vladimir Kalaev
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
27
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