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串联光伏电池非晶硅薄膜的Nd^(3+):YAG激光辅助掺杂与同时毛化(英文)
被引量：
1
1
作者
VASA N J
PALANI I A
+1 位作者
SINGAPERUMAL
OKADA
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2263-2270,共8页
对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究。首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散。为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理。进行施主激...
对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究。首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散。为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理。进行施主激光扩散和活化时,激光光斑的重叠度达到光斑大小的90%,因此随后诱发了薄膜表面的毛化。多晶毛化峰由扫描电子显微镜、喇曼光谱、原子力显微镜等多种表征手段进行了验证,处理后的样品其正面和背面的拉曼光谱均出现了521cm-1的晶体峰值。样品的n型特征得到了Hall效应测试的证实,同时证明了掺杂的有效性。表面毛化粗糙度达到450nm,并且观测到了光电导和吸收光谱的增强,这些均证实了样品光伏性质的改善。
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关键词
激光辅助掺杂
掺杂
毛化
Sb
光伏电池
Nd3+∶YAG纳秒激光
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职称材料
题名
串联光伏电池非晶硅薄膜的Nd^(3+):YAG激光辅助掺杂与同时毛化(英文)
被引量：
1
1
作者
VASA N J
PALANI I A
SINGAPERUMAL
OKADA
机构
Department
of
engineering
Design
Department
of
Mechanical
engineering
graduate school of information science and electrical engineering
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2263-2270,共8页
基金
Supported by MEE 0607167 NFSCNILE
文摘
对结合激光辅助掺杂和毛化方法合成的光伏电池用Sb掺杂非晶硅薄膜进行了研究。首先,用阈值通量为460mJ/cm2的激光照射镀有200～300nm厚Sb的非晶硅薄膜进行施主扩散。为激活施主,样品用230mJ/cm2的低激光通量再一次进行处理。进行施主激光扩散和活化时,激光光斑的重叠度达到光斑大小的90%,因此随后诱发了薄膜表面的毛化。多晶毛化峰由扫描电子显微镜、喇曼光谱、原子力显微镜等多种表征手段进行了验证,处理后的样品其正面和背面的拉曼光谱均出现了521cm-1的晶体峰值。样品的n型特征得到了Hall效应测试的证实,同时证明了掺杂的有效性。表面毛化粗糙度达到450nm,并且观测到了光电导和吸收光谱的增强,这些均证实了样品光伏性质的改善。
关键词
激光辅助掺杂
掺杂
毛化
Sb
光伏电池
Nd3+∶YAG纳秒激光
Keywords
laser assisted doping
texturing
Sb
photovoltaic cell
Nd3＋∶YAG ns-laser
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
串联光伏电池非晶硅薄膜的Nd^(3+):YAG激光辅助掺杂与同时毛化(英文)
VASA N J
PALANI I A
SINGAPERUMAL
OKADA
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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