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基于光纤法布里-珀罗干涉仪的超短薄膜腔的温度传感技术研究
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作者 邢美华 杨迪 +2 位作者 刘波 闫诚 刘钦朋 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期1001-1006,1014,共7页
针对超短薄膜腔不易制造的问题,提出了一种利用液体形成超短薄膜腔的基于法布里-珀罗干涉仪(FPI)的超薄膜光纤温度传感器。通过优化材料结构、膜厚和腔长之间的关系,建立法布里-珀罗(FP)腔长极短的结构模型,研制小型化、增敏和高精度的... 针对超短薄膜腔不易制造的问题,提出了一种利用液体形成超短薄膜腔的基于法布里-珀罗干涉仪(FPI)的超薄膜光纤温度传感器。通过优化材料结构、膜厚和腔长之间的关系,建立法布里-珀罗(FP)腔长极短的结构模型,研制小型化、增敏和高精度的光纤温度传感器,并进行实验验证。结果表明,该传感器的温度灵敏度为342.05 pm/℃,在40~120℃温度范围内的线性度为0.997,具有结构紧凑、制作简单、成本低等优点和良好的温度响应特性,在复杂环境中的温度检测和制作FP超短薄膜方面具有潜在的应用价值。 展开更多
关键词 光纤传感 光纤F-P腔 温度 灵敏度
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