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(Bi_(0.88)Ce_(0.12))_2Ti_2O_7薄膜的结构及C-V特性
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作者 荆象阳 侯仰博 +2 位作者 张晓阳 秦晓燕 张寅 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期448-451,455,共5页
采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.88Ce0.12)2Ti2O7薄膜,分别借助X线光电子能谱仪、紫外-可见分光光度计研究了薄膜的化学特性、紫外-可见吸收光谱等结构性能。结果表明,在烧绿石相Bi2Ti2O7薄膜中掺杂Ce3+取... 采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.88Ce0.12)2Ti2O7薄膜,分别借助X线光电子能谱仪、紫外-可见分光光度计研究了薄膜的化学特性、紫外-可见吸收光谱等结构性能。结果表明,在烧绿石相Bi2Ti2O7薄膜中掺杂Ce3+取代部分Bi3+后,薄膜在高温退火下仍能保持原有的相结构。利用HP4192A型阻抗分析仪测试薄膜的电容-电压(C-V)特性,计算出600℃、650℃、700℃、750℃退火条件下薄膜的介电常数分别为144、190、214、176,固定电荷密度值分别为3.44×1011cm-2、5.82×1011cm-2、5.58×1011cm-2和2.49×1010cm-2。 展开更多
关键词 薄膜 介电常数 退火温度 X线衍射 能隙
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化学溶液分解法制备(Bi_(0.8)Ce_(0.2))_2Ti_2O_7薄膜及性能研究
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作者 荆象阳 秦晓燕 +1 位作者 张晓阳 张寅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1372-1375,1380,共5页
采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.8Ce0.2)2Ti2O7薄膜,采用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性。研究表明:Ce3+部分取代Bi3+能够显著提高Bi2Ti2O7薄膜的相稳定性。同时还研究了薄膜的电容-电压特性、介... 采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.8Ce0.2)2Ti2O7薄膜,采用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性。研究表明:Ce3+部分取代Bi3+能够显著提高Bi2Ti2O7薄膜的相稳定性。同时还研究了薄膜的电容-电压特性、介电常数、介电损耗。结果表明,该薄膜具有良好的介电特性。 展开更多
关键词 化学溶液分解法 (Bi0.8Ce0.2)2Ti2O7薄膜 相稳定性
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