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题名蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
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作者
姜晓龙
窦雁巍
程振乾
孙志强
毕佳宇
邵志强
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机构
黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室黑龙江大学
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期124-127,共4页
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文摘
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台,在室温环境下对传感器执行了10Hz~1kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明,在10Hz~1kHz频率范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%,传感器的固有频率为430kHz。
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关键词
动态压力传感器
湿法腐蚀
直接键合
自补偿解调方法
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Keywords
dynamic pressure sensor
wet etching
direct bonding
self compensation demodulation method
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于磁场传感器磁成像装置研究
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作者
赵晓锋
陈子轩
杜西亮
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机构
黑龙江大学电子工程学院
黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室
重庆文理学院电子信息与电气工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期1856-1862,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(61971180)。
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文摘
针对空间磁场矢量分布情况,给出一种空间磁场测量和成像的装置,主要由磁场矢量传感器、三维移动平台和信号处理电路等部分构成。在待测磁场空间中,通过三维移动平台调整磁场矢量传感器的测量位置,然后利用传感器测量相应位置处的磁场分量(Bx、By和Bz),采用信号处理电路并行对传感器的输出电压进行放大、滤波、调零和A/D转换等处理。在微控制器进行数字滤波和数据传输后,利用软件分析和处理获取的数据,并绘制空间磁场矢量分布图。实验结果表明在一定待测磁场范围内,该磁成像装置能够实现永磁铁附近的空间磁场相应位置的磁场矢量测量,并形成磁场分布图,该装置可以对-1000 Gs~+1000 Gs的磁场进行测量,磁场分辨率为2 Gs,空间分辨率为3 mm3。
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关键词
磁场矢量分布
磁成像
磁场矢量传感器
空间磁场
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Keywords
magnetic field vector distribution
magnetic imaging
magnetic field vector sensors
space magnetic field
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分类号
O472
[理学—半导体物理]
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