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直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性
被引量：
2
1
作者
张具琴
马康
+1 位作者
王海燕
王子建
《可再生能源》
CAS
2008年第4期64-68,72,共6页
利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO:Al薄膜,并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温度对薄膜结构特性的影响。研究发现,铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构,ZnO:Al薄膜具有(0...
利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO:Al薄膜,并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温度对薄膜结构特性的影响。研究发现,铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构,ZnO:Al薄膜具有(002)择优取向。在同样的制备条件下,薄膜的晶化在普通玻璃上比在PET衬底上要好,但是在特定的条件下(沉积时间15 min),在PET衬底上的要比普通玻璃衬底上的好。
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关键词
有机衬底
ZNO:AL
晶化
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职称材料
空调周轮柄注塑模设计
被引量：
1
2
作者
王振保
代伟
+1 位作者
何领好
代文征
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期36-38,共3页
采用剖分式型腔成型结构复杂的周轮柄,并采用齿轮齿条抽弯芯机构,简化了模具的复杂度,使该模具设计新颖,自动化程度较高。
关键词
弧度侧抽芯
注塑模
齿轮齿条机构
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职称材料
题名
直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性
被引量：
2
1
作者
张具琴
马康
王海燕
王子建
机构
黄河科技大学信息工程学院
电子系
郑州
大学
物理
工程
学院
材料物理教育部重点实验室
出处
《可再生能源》
CAS
2008年第4期64-68,72,共6页
文摘
利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO:Al薄膜,并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温度对薄膜结构特性的影响。研究发现,铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构,ZnO:Al薄膜具有(002)择优取向。在同样的制备条件下,薄膜的晶化在普通玻璃上比在PET衬底上要好,但是在特定的条件下(沉积时间15 min),在PET衬底上的要比普通玻璃衬底上的好。
关键词
有机衬底
ZNO:AL
晶化
Keywords
flexible substrate
ZnO：Al films
crystalline volume fraction
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
空调周轮柄注塑模设计
被引量：
1
2
作者
王振保
代伟
何领好
代文征
机构
郑州轻工业
学院
黄河科技大学信息工程学院
出处
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期36-38,共3页
文摘
采用剖分式型腔成型结构复杂的周轮柄,并采用齿轮齿条抽弯芯机构,简化了模具的复杂度,使该模具设计新颖,自动化程度较高。
关键词
弧度侧抽芯
注塑模
齿轮齿条机构
Keywords
Radian Side Core
Injection Mould
Organization of Gear Wheel and Rack
分类号
TQ320.662 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性
张具琴
马康
王海燕
王子建
《可再生能源》
CAS
2008
2
在线阅读
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职称材料
2
空调周轮柄注塑模设计
王振保
代伟
何领好
代文征
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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职称材料
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参考文献
引证文献
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