期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于小样本数据驱动模型的硅片线切割质量预测
被引量：
1
1
作者
李博文
张宏帅
+2 位作者
赵华东
胡晓亮
田增国
《机床与液压》
北大核心
2024年第1期66-73,共8页
在单晶硅加工中,硅片多线切割质量检测耗时和检测成本高造成硅片质量检测难。因此,提出一种基于生成对抗网络(WGAN-GP)数据处理与自注意力残差网络(SeResNet)的硅片质量预测方法。分析多线切割的机制,确定影响硅片质量的工艺参数,建立...
在单晶硅加工中,硅片多线切割质量检测耗时和检测成本高造成硅片质量检测难。因此,提出一种基于生成对抗网络(WGAN-GP)数据处理与自注意力残差网络(SeResNet)的硅片质量预测方法。分析多线切割的机制,确定影响硅片质量的工艺参数,建立数据样本,使用WGAN-GP对样本数据进行数据增强。在此基础上,建立基于SeResNet的硅片总体厚度偏差预测模型。以硅片的多线切割加工过程监控数据为模型验证数据,对构建的硅片总体厚度偏差预测模型进行验证。实验结果表明:该模型具有良好泛化性和高准确率,有效解决了小样本数据下的预测难题,实现了平均相对误差小于10%的硅片总体厚度偏差预测,所以基于数据驱动的硅片质量预测来代替硅片加工中的质量检测具有重要的现实意义。
展开更多
关键词
硅片
线切割
总体厚度偏差预测
生成对抗网络
数据增强
在线阅读
下载PDF
职称材料
内黄凸起河南段地热田水文地球化学特征及其成因
2
作者
辛浩
宁艺武
+3 位作者
平建华
冷伟
陈高凯
赵继昌
《科学技术与工程》
北大核心
2024年第34期14537-14550,共14页
内黄凸起河南段地热资源蕴藏丰富,地温梯度相对较高。然而,目前对内黄凸起河南段地热的运移机制尚未有深入研究。采用水文地球化学、热储温度计算、氢氧同位素等方法,对地热水的水化学类型、水化学演化、热储温度及深层热水补给来源等...
内黄凸起河南段地热资源蕴藏丰富,地温梯度相对较高。然而,目前对内黄凸起河南段地热的运移机制尚未有深入研究。采用水文地球化学、热储温度计算、氢氧同位素等方法,对地热水的水化学类型、水化学演化、热储温度及深层热水补给来源等特征进行了分析。结果显示:研究区新近系热储水化学类型以Cl-Na为主,古近系热储主要为Cl-Na和Cl·SO_(4)-Na型。地热水中Na^(+)、Cl^(-)主要来源于矿物的溶解,同时钠硅酸盐矿物的溶解以及阳离子交替吸附作用也是地热水中部分Na^(+)的来源。碳酸盐、硫酸盐和硅酸盐矿物的沉淀溶解平衡共同影响Ca^(2+)、Mg^(2+)离子含量。研究区地热水主要补给来源为大气降水,地热水的补给高程在789~1417 m。大多数地热水出现δ^(18)O漂移特征,水岩作用相对强烈。研究区主要热储温度在45~53℃,地热水的循环深度在947~2070 m。冷水混入比例为55.3%~66.5%,在冷水混入之前的热储温度为78.05~102.9℃。探究了内黄凸起河南段热储温度、地热水补给来源及循环深度等地热信息,对研究区地热成因机制建立了系统性认识。
展开更多
关键词
地热成因
内黄凸起
水文地球化学
同位素技术
概念模型
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测
被引量：
1
3
作者
侯少华
张宏帅
+2 位作者
姜宝柱
朱宾宾
田增国
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第1期25-33,55,共10页
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,本文提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之前发出警告。首先剔除方差较小的参数,采用斯皮尔曼相关系数法剔除冗余参数,采用最大互信息法检验...
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,本文提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之前发出警告。首先剔除方差较小的参数,采用斯皮尔曼相关系数法剔除冗余参数,采用最大互信息法检验剩余参数的非线性相关性;然后将关键参数的均值和标准差作为等度量映射和多维放缩的输入,得到两份样本数据;最后将这两份样本数据分别输入到经过差分算法、遗传算法优化的支持向量机预测模型,得到4份预测结果。预测结果表明:基于ISOMAP-DE-SVM的预测模型具有收敛速度快、准确度高的特点,平均预测准确率可以达到96%;同时,所使用的方法揭示了单晶硅等径阶段的数据具有非线性特点。通过实际应用验证表明模型具有一定的工程实用价值。
展开更多
关键词
直拉法
单晶硅
等径生长
支持向量机
等度量映射
掉苞
预测
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于小样本数据驱动模型的硅片线切割质量预测
被引量：
1
1
作者
李博文
张宏帅
赵华东
胡晓亮
田增国
机构
郑州大学机械与动力工程学院
麦斯克电子材料股份有限公司
郑州大学物理(微
电子
)学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2024年第1期66-73,共8页
基金
河南省工信厅2020年先进制造业发展专项资金项目(2020010)。
文摘
在单晶硅加工中,硅片多线切割质量检测耗时和检测成本高造成硅片质量检测难。因此,提出一种基于生成对抗网络(WGAN-GP)数据处理与自注意力残差网络(SeResNet)的硅片质量预测方法。分析多线切割的机制,确定影响硅片质量的工艺参数,建立数据样本,使用WGAN-GP对样本数据进行数据增强。在此基础上,建立基于SeResNet的硅片总体厚度偏差预测模型。以硅片的多线切割加工过程监控数据为模型验证数据,对构建的硅片总体厚度偏差预测模型进行验证。实验结果表明:该模型具有良好泛化性和高准确率,有效解决了小样本数据下的预测难题,实现了平均相对误差小于10%的硅片总体厚度偏差预测,所以基于数据驱动的硅片质量预测来代替硅片加工中的质量检测具有重要的现实意义。
关键词
硅片
线切割
总体厚度偏差预测
生成对抗网络
数据增强
Keywords
silicon wafer
wire sawing
prediction of total thickness variation
generative adversarial network
data enhancement
分类号
TH164 [机械工程—机械制造及自动化]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
内黄凸起河南段地热田水文地球化学特征及其成因
2
作者
辛浩
宁艺武
平建华
冷伟
陈高凯
赵继昌
机构
郑州大学水利与交通学院
郑州大学地热与生态地质研究中心
河南省地热综合利用工程研究中心
麦斯克电子材料股份有限公司
郑州大学生态与环境学院
万江新能源
股份有限公司
中国地质环境监测院
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2024年第34期14537-14550,共14页
基金
郑州大学高层次人才基金(135-32340122)
郑州大学院士团队科研启动基金(134-32340364,134-32340370)。
文摘
内黄凸起河南段地热资源蕴藏丰富,地温梯度相对较高。然而,目前对内黄凸起河南段地热的运移机制尚未有深入研究。采用水文地球化学、热储温度计算、氢氧同位素等方法,对地热水的水化学类型、水化学演化、热储温度及深层热水补给来源等特征进行了分析。结果显示:研究区新近系热储水化学类型以Cl-Na为主,古近系热储主要为Cl-Na和Cl·SO_(4)-Na型。地热水中Na^(+)、Cl^(-)主要来源于矿物的溶解,同时钠硅酸盐矿物的溶解以及阳离子交替吸附作用也是地热水中部分Na^(+)的来源。碳酸盐、硫酸盐和硅酸盐矿物的沉淀溶解平衡共同影响Ca^(2+)、Mg^(2+)离子含量。研究区地热水主要补给来源为大气降水,地热水的补给高程在789~1417 m。大多数地热水出现δ^(18)O漂移特征,水岩作用相对强烈。研究区主要热储温度在45~53℃,地热水的循环深度在947~2070 m。冷水混入比例为55.3%~66.5%,在冷水混入之前的热储温度为78.05~102.9℃。探究了内黄凸起河南段热储温度、地热水补给来源及循环深度等地热信息,对研究区地热成因机制建立了系统性认识。
关键词
地热成因
内黄凸起
水文地球化学
同位素技术
概念模型
Keywords
geothermal genesis
Neihuang Uplift
hydrogeochemistry
isotope technology
conceptual model
分类号
P314.3 [天文地球—固体地球物理学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测
被引量：
1
3
作者
侯少华
张宏帅
姜宝柱
朱宾宾
田增国
机构
郑州大学机械与动力工程学院
郑州大学物理(微
电子
)学院
麦斯克电子材料股份有限公司
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第1期25-33,55,共10页
基金
河南省先进制造业发展专项资金(2020)。
文摘
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,本文提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之前发出警告。首先剔除方差较小的参数,采用斯皮尔曼相关系数法剔除冗余参数,采用最大互信息法检验剩余参数的非线性相关性;然后将关键参数的均值和标准差作为等度量映射和多维放缩的输入,得到两份样本数据;最后将这两份样本数据分别输入到经过差分算法、遗传算法优化的支持向量机预测模型,得到4份预测结果。预测结果表明:基于ISOMAP-DE-SVM的预测模型具有收敛速度快、准确度高的特点,平均预测准确率可以达到96%;同时,所使用的方法揭示了单晶硅等径阶段的数据具有非线性特点。通过实际应用验证表明模型具有一定的工程实用价值。
关键词
直拉法
单晶硅
等径生长
支持向量机
等度量映射
掉苞
预测
Keywords
Czochralski method
single crystal silicon
equal-diameter growth
support vector machine
isometric mapping
broken edge
prediction
分类号
O78 [理学—晶体学]
TN304.1 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于小样本数据驱动模型的硅片线切割质量预测
李博文
张宏帅
赵华东
胡晓亮
田增国
《机床与液压》
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
内黄凸起河南段地热田水文地球化学特征及其成因
辛浩
宁艺武
平建华
冷伟
陈高凯
赵继昌
《科学技术与工程》
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测
侯少华
张宏帅
姜宝柱
朱宾宾
田增国
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
