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一种用于制造光学玻璃产品的模具及其制造方法
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作者 无 《表面技术》 EI CAS CSCD 2007年第3期6-6,共1页
本发明揭示一种用于制造光学玻璃产品的模具及其制造方法，此模具包括：模具基体及附着在模具基体表面的膜层，此膜层厚度为10—50nm，其材料为（ZrO2）；（Y2O3），（Al2O3）z，其中x=0．77—0．92，y=0．05—0．15，z=0．03—0．08。... 本发明揭示一种用于制造光学玻璃产品的模具及其制造方法，此模具包括：模具基体及附着在模具基体表面的膜层，此膜层厚度为10—50nm，其材料为（ZrO2）；（Y2O3），（Al2O3）z，其中x=0．77—0．92，y=0．05—0．15，z=0．03—0．08。本发明还提供一种制造上述模具的方法，其包括以下步骤：提供一模具基体；以0．33—0．83nm／s的沉积速率，沉积（ZrO2），（Y2O3）y（Al2O3）：材料在上述模具基体的表面，经12—150s，使得厚度为10-50nm的膜层形成在模具基体表面。本发明的模具在模压时，不会因氧化而使得其表面变粗糙。 展开更多
关键词 制造方法 玻璃产品 模具 光学 种用 基体表面 膜层厚度 沉积速率
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