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超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究
被引量：
3
1
作者
刘星
张伟
+1 位作者
孙刚
马国佳
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期320-326,共7页
采用飞秒超快激光在GCr15轴承钢基体表面上制备了条纹、方格结构,并研究对类金刚石(DLC)薄膜结构、结合强度和耐磨性能影响。利用Raman光谱、扫描电镜、白光干涉形貌仪分析薄膜化学结构及形貌,利用划痕实验仪及SRV磨损试验机对薄膜结合...
采用飞秒超快激光在GCr15轴承钢基体表面上制备了条纹、方格结构,并研究对类金刚石(DLC)薄膜结构、结合强度和耐磨性能影响。利用Raman光谱、扫描电镜、白光干涉形貌仪分析薄膜化学结构及形貌,利用划痕实验仪及SRV磨损试验机对薄膜结合强度、磨损性能进行测定。研究表明,功率密度0.96、400 mm/min、加工间距150~350μm条件下的获得的微结构对DLC薄膜sp3键含量有提升作用,并影响DLC薄膜的结合强度和耐磨性。在间距250μm条纹结构上的DLC薄膜具有最佳的性能,硬度约16 GPa,最高结合力极限载荷52 N,面-面接触、20 N载荷下磨损率1.35×10^(-6)mm^(-3)/N·m,耐磨性与无微结构DLC相比,最高可提高50倍。
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关键词
微结构界面
DLC薄膜
结合强度
耐磨性能
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职称材料
题名
超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究
被引量：
3
1
作者
刘星
张伟
孙刚
马国佳
机构
高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期320-326,共7页
文摘
采用飞秒超快激光在GCr15轴承钢基体表面上制备了条纹、方格结构,并研究对类金刚石(DLC)薄膜结构、结合强度和耐磨性能影响。利用Raman光谱、扫描电镜、白光干涉形貌仪分析薄膜化学结构及形貌,利用划痕实验仪及SRV磨损试验机对薄膜结合强度、磨损性能进行测定。研究表明,功率密度0.96、400 mm/min、加工间距150~350μm条件下的获得的微结构对DLC薄膜sp3键含量有提升作用,并影响DLC薄膜的结合强度和耐磨性。在间距250μm条纹结构上的DLC薄膜具有最佳的性能,硬度约16 GPa,最高结合力极限载荷52 N,面-面接触、20 N载荷下磨损率1.35×10^(-6)mm^(-3)/N·m,耐磨性与无微结构DLC相比,最高可提高50倍。
关键词
微结构界面
DLC薄膜
结合强度
耐磨性能
Keywords
Micro-structure interface
DLC films
Mechanical properties
Anti-wear properties
分类号
TG17 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究
刘星
张伟
孙刚
马国佳
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
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职称材料
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