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多晶硅薄膜的表面处理工艺 被引量:4
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作者 曾祥斌 Johnny K O Sin +1 位作者 徐重阳 饶瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期693-696,共4页
采用NH3和N2O的等离子体分别对p-Si(多晶硅)薄膜表面进行了钝化处理,处理后的 p-Si TFT(薄膜晶体管)具有比未处理 TFT更优越的性能,通电试验与热应力试验后,处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能... 采用NH3和N2O的等离子体分别对p-Si(多晶硅)薄膜表面进行了钝化处理,处理后的 p-Si TFT(薄膜晶体管)具有比未处理 TFT更优越的性能,通电试验与热应力试验后,处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能力,钝化的微观机理是NH3和N2O等离子体中和了p-Si薄膜的悬挂键,形成牢固的Si-N键,减少了表面态密度. 展开更多
关键词 NH3 N2O 表面钝化 p-SiTFT 多晶硅薄膜 表面处理工艺
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并联机构的奇异位形分析及冗余驱动控制方法 被引量:4
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作者 沈辉 吴学忠 +1 位作者 李圣怡 李泽湘 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期91-94,共4页
运用微分几何的方法分析了存在于并联机构中的各种奇异位形。采用冗余驱动方法解决并联机构奇异位形的控制问题。设计并实现了平面二自由度并联实验装置 。
关键词 控制方法 并联机构 奇异位形 冗余驱动
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单块偏振片反射式向列相液晶显示器的理论设计与实验制造研究(英文) 被引量:2
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作者 余飞鸿 王谦 +2 位作者 潘为民 陈军 郭海成 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第8期692-702,共11页
反射式液晶显示器 ( RLCDs)具有亮度高、无视差等优点 ,并且结构简单 ,适合于现行的制造工艺和驱动方式 .本文利用我们提出的参数空间法 (偏振片角度、扭曲角及双折射率的函数 )研究了适用于反射式液晶显示器 ,这种研究表明所有的反射... 反射式液晶显示器 ( RLCDs)具有亮度高、无视差等优点 ,并且结构简单 ,适合于现行的制造工艺和驱动方式 .本文利用我们提出的参数空间法 (偏振片角度、扭曲角及双折射率的函数 )研究了适用于反射式液晶显示器 ,这种研究表明所有的反射式液晶显示模式都可以在这个参数空间里得以表述 ,如扭曲向列型的电控双折射模式 ( TN-ECB) ,混合场效应模式( HFE) ,混合向列型模式 ( MTN) ,以及自补偿向列型模式 ( SCTN) .在此基础上我们提出几种新的反射模式 ,如反射向列型及反射超扭曲向列型 (通过搜索参数空间得到 ) ,二者均适用于直视型和投影型显示方式 .我们已制成反射向列型及反射超扭曲向列型样品 ,实验结果和理论设计符合一致 . 展开更多
关键词 参数空间 反射式液晶显示器 单块偏振片
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并联机构奇异点分析的新方法 被引量:1
4
作者 吴宇列 吴学忠 +1 位作者 刘冠峰 李圣怡 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期95-98,共4页
根据并联机构位形空间的特点 ,采用微分几何和微分拓扑的方法 ,提出了一种并联机构奇异点的新的分类方法 ,即分为拓扑奇异点 ,参数化奇异点两种类型 ,并把它与现有的几种分类方法进行了比较。
关键词 并联机构 奇异点 流形拓扑 位形空间 微分几何 微分拓扑 并联机器人
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黎曼几何在并联机构动力学中的应用 被引量:1
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作者 吴宇列 吴学忠 +1 位作者 刘冠峰 李圣怡 《机械设计与制造》 2002年第3期79-80,共2页
介绍了采用黎曼几何的方法描述并联机构的动力学问题,推导出了一种十分简的动务学方程,黎曼几何的引入有助于我们对并联机构的动力学进行深入研究。
关键词 并联机构 黎曼几何 动力学
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多晶硅薄膜晶体管的表面氮钝化技术
6
作者 曾祥斌 Johnny K O Sin +2 位作者 徐重阳 饶瑞 刘世建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期142-144,151,共4页
采用 N2 O和 NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。实验结果表明 ,该技术能够有效降低多晶硅薄膜的界面态密度 ,提高多晶硅薄膜晶体管性能。二次离子质谱仪分析表明在 p- Si/ Si O2界面有氮原子富积 ,说明生成... 采用 N2 O和 NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。实验结果表明 ,该技术能够有效降低多晶硅薄膜的界面态密度 ,提高多晶硅薄膜晶体管性能。二次离子质谱仪分析表明在 p- Si/ Si O2界面有氮原子富积 ,说明生成了强的 Si- 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 薄膜晶体管 表面钝化 氮等离子钝化
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硅基双层薄膜谐振器的数学模型及优化设计
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作者 邓宁 于丽娟 +1 位作者 朱长纯 单建安 《西北建筑工程学院学报(自然科学版)》 CAS 1998年第2期7-13,共7页
研究了用工业IC技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理,并建立了数学模型.对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算,理论曲线与实验结果符合得很好.最后,给出了电热激... 研究了用工业IC技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理,并建立了数学模型.对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算,理论曲线与实验结果符合得很好.最后,给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法. 展开更多
关键词 电热激励 薄膜谐振器 数学模型 优化设计
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