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题名一种新结构的双向直线运动驻波型超声波电机(英文)
被引量：3
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作者
王波
戴吉岩
郭吉丰
魏燕定
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机构
浙江大学电气工程学院
香港理工大学应用物理学系
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出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2009年第24期49-55,共7页
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基金
Project Supported by National Natural Science Foundation of China (60575059)~~
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文摘
研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机。该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成。通过有限元分析可知,调整薄弱环节和两端部的尺寸,在板中间可以形成2个波长几乎相等的驻波模态,其中一个是正弦振型,一个是余弦振型;通过粘贴8片PZT4压电陶瓷在板的中部来激励这2种振动模态。依照该原理,设计制造并研究了长60mm、宽10mm的新型双向直线运动超声波电机。该直线超声波电机在一个方向上最大速度220mm/s,最大出力1.764N,在另一个方向上最大速度270mm/s,最大出力1.96N,且达到了0.2μm以下的分辨率。
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关键词
双向运动
驻波型
直线超声波电机
压电陶瓷
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Keywords
bi-directional moving
standing-wave type
linear ultrasonic motor
piezoceramic
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分类号
TM356
[电气工程—电机]
TM383
[电气工程—电机]
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题名PLZT薄膜的结构、介电与光学性能的研究
被引量：2
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作者
蒋力立
唐新桂
周歧发
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机构
广东工业大学应用物理系
香港理工大学应用物理学
中山大学物理系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第5期403-406,共4页
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基金
国家自然科学基金(59972045)
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文摘
以硝酸镧、醋酸铅、钛酸丁酯和异丙醇锆为原料,乙二醇甲醚作溶剂。用简单的溶胶-凝胶法和快速退火工艺在Si(111)、石英和Pt/Ti/SiO_2/Si(100)基片成功地制备出了高度多晶和(111)取向生长的(Ph,La)(Ti,Zr)O_3(PLZT)薄膜。用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性。PLZT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为10.3μC/cm^2和36kV/cm;在100kHz,薄膜的介电常数和损耗因子分别为682和0.021。生长在石英基片上的薄膜具有好的透光性,当波长高于360nm,其透过率高达72％。
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关键词
PLZT薄膜
取向生长
电性能
光学特性
溶胶-凝胶
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Keywords
PLZT thin films
orientation growth
electrical properties
optical properties
Sol-Gel
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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