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测量薄膜折射率的几种方法
被引量：
6
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作者
孙香冰
任诠
+2 位作者
杨洪亮
冯林
Y.T.Chow
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期13-18,共6页
准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义。系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析。
关键词
薄膜光学
折射率
聚合物薄膜
椭偏法
准波导
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职称材料
题名
测量薄膜折射率的几种方法
被引量：
6
1
作者
孙香冰
任诠
杨洪亮
冯林
Y.T.Chow
机构
山东
大学
光学系
香港城市大学光电子学研究中心
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期13-18,共6页
基金
本研究工作得到国家自然科学基金(60377016
50272037和60476020)国家高技术863计划(2002AA313070)山东大学晶体材料国家重点实验室开放经费的资助。
文摘
准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义。系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析。
关键词
薄膜光学
折射率
聚合物薄膜
椭偏法
准波导
Keywords
thin film optics
refractive index
polymer thin films
ellipisometry
quasi-waveguide
分类号
O646.54 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
测量薄膜折射率的几种方法
孙香冰
任诠
杨洪亮
冯林
Y.T.Chow
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
6
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