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电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究
被引量：
2
1
作者
李有斌
陈叮琳
李宏盼
《化学与生物工程》
CAS
2021年第6期59-61,共3页
通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70%磷化氢和95%砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程...
通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70%磷化氢和95%砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气的纯度。
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关键词
电子级多晶硅
循环氢气
深冷
杂质
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职称材料
题名
电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究
被引量：
2
1
作者
李有斌
陈叮琳
李宏盼
机构
青海黄河水电有限公司新能源分公司
青海
省
新
能源
材料与储能技术重点实验室
出处
《化学与生物工程》
CAS
2021年第6期59-61,共3页
文摘
通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢在氢气循环过程中的累积趋势,可以有效分离循环氢气中70%磷化氢和95%砷化氢,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气的纯度。
关键词
电子级多晶硅
循环氢气
深冷
杂质
Keywords
electron grade polycrystalline silicon
circulating hydrogen
cryogenic
impurity
分类号
TQ018 [化学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究
李有斌
陈叮琳
李宏盼
《化学与生物工程》
CAS
2021
2
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