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大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造
被引量：
9
1
作者
兰红波
郭良乐
+1 位作者
许权
钱垒
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期894-905,共12页
为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQU...
为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律;提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法,并完成了10.16cm(4inch)满片双层复合软模具复制的实验验证。研究结果为大尺寸复合软模具制造奠定了理论基础,并提供了一种低成本高质量制造大尺寸晶圆级双层复合软模具切实可行的方法。
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关键词
大面积纳米压印
复合软模具
抗粘附
揭开式脱模
晶圆级
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职称材料
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
2
作者
李延强
兰红波
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期470-477,共8页
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟...
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
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关键词
大面积纳米压印
揭开式脱模
脱模力
脱模速度
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职称材料
题名
大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造
被引量：
9
1
作者
兰红波
郭良乐
许权
钱垒
机构
青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期894-905,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51375250,No.51775288)
青岛市创新领军人才资助项目(No.13-CX-18)
文摘
为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律;提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法,并完成了10.16cm(4inch)满片双层复合软模具复制的实验验证。研究结果为大尺寸复合软模具制造奠定了理论基础,并提供了一种低成本高质量制造大尺寸晶圆级双层复合软模具切实可行的方法。
关键词
大面积纳米压印
复合软模具
抗粘附
揭开式脱模
晶圆级
Keywords
large area nanoimprint lithographt
composite flexible mold
anti-adhesion
peel off demolding
wafer-level
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
2
作者
李延强
兰红波
机构
青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期470-477,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(91023023
51375250)
青岛市创业创新领军人才计划资助项目(13-CX-18)
文摘
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
关键词
大面积纳米压印
揭开式脱模
脱模力
脱模速度
Keywords
large-area nanoimprint lithography
peel-off demolding
demolding force
demolding speed
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造
兰红波
郭良乐
许权
钱垒
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
9
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职称材料
2
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
李延强
兰红波
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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