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题名喷射干冰表面清理技术的原理及应用
被引量:2
- 1
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作者
谢广文
赵程
石玉龙
彭红瑞
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《化工设备与防腐蚀》
2000年第3期23-24,共2页
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文摘
喷射干冰表面清理技术,是一种革命性的表面除污新技术,与传统表面清理技术相比,该技术在各方面都具有一定优势,因而被认为是新世纪最有发展前途的表面清理技术。
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关键词
喷射
干冰
表面清理
表面除污
表面清洗
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分类号
TQ050.7
[化学工程]
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题名热等离子弧熔覆合金涂层的制备与组织性能
- 2
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作者
田丰
侯俊英
赵程
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机构
青岛化工学院等离子表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
2002年第4期60-62,74,共4页
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文摘
在自制的热等离子非转移弧熔覆设备上用 Stellite Ni6 0合金在钢的表面上进行熔覆处理。用优化后的熔覆工艺参数可以获得零稀释率的熔覆层 ,而且熔覆层与基体结合牢固。在对熔覆层进行化学成分、组织结构分析后发现 :熔覆层可以分为三层组织结构 ,这三层组织结构的形成与熔池的凝固过程有关。实验结果证明 。
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关键词
热等离子弧
熔覆
合金涂层
制备
组织性能
非转移弧
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Keywords
thermal plasma arc
non-transferred arc
cladding
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分类号
TG174.445
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名新型射频等离子化学气相沉积系统
- 3
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作者
曲承林
谢雁
李世直
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1992年第1期51-55,共5页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
设计了一种射频电极作为基板支架的射频等离子体化学气相沉积系统.其温度可达700℃,负偏压是可调的.并以沉积的TiN膜的取向为例说明了系统的工作情况.
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关键词
射频
等离子体
化学系统
气相沉积
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Keywords
RF
plasma CVD
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分类号
O646.9
[理学—物理化学]
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题名用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究
被引量:1
- 4
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作者
彭红瑞
石玉龙
谢广文
赵程
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1999年第3期245-247,共3页
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文摘
研究了用PCVD法所制备的TiN,TiA1N及TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明,TiA1N,TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化性可达700℃以上, TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中, PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力, 且优于PVD-TiN
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关键词
氮化钛
涂层
高温
PVCD
沉积
金属
合金钢
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Keywords
plasma chemical vapor deposition
TiN,TiAlN,TiSiN coatings
resistance to oxidation
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名用PCVD法制备(TiAl)N膜的研究
- 5
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作者
赵程
彭红瑞
李世直
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛科技大学学报(自然科学版)》
CAS
1990年第4期30-35,共6页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
本文介绍了在PCVD设备中用固态AlCl_3制备(TiAl)N膜。结果表明,(TiAl)N膜的含Al量与AlCl_3的蒸发温度成正比,但膜内Cl含量却无明显变化。(TiAl)N膜保持了TiN膜的面心立方晶体结构,但其晶格常数变小,织构变弱,组织略有细化。(TiAl)N膜的显微硬度略高于或等于TiN膜的硬度,但抗高温氧化性有较大幅度提高。
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关键词
PCVD法
(TiAl)N膜
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Keywords
plasma CVD
(TiAl) N coating
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分类号
TQ-55
[化学工程]
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题名PCVD法TiN、TiCN涂层工艺研究
- 6
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作者
任志华
徐翔
董克学
杨睫
李世直
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1993年第4期56-60,共5页
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基金
国家自然科学基金资助课题
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文摘
研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
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关键词
PCVD法
TIN
TiCV
涂层
氮化钛
沉积
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Keywords
plasma
PCVD
TiN
TiCN coating
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名一种适合硬膜抗磨粒磨损性能试验方法的研究
- 7
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作者
赵程
彭红瑞
谢广文
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
2000年第3期223-225,共3页
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文摘
提出了一种适合评估硬膜材料抗磨粒磨损性能试验的新方法 ,并研究了各种因素对硬膜抗磨粒磨损试验结果的影响。试验发现 ,硬膜的磨损量与磨损时间以及试棒转速成正比 ;当磨料粒度在一定的范围内变化时 ,磨损量与磨料的粒度成正比 ;当磨料的粒度超过某一临界尺寸后 ,磨损速度变化不大。在粒度为 1 80目时 ,磨损试验的效果最佳。在有饱和水溶液的磨料中 ,同时存在着磨料磨损和气蚀磨损两种磨损方式。
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关键词
硬质膜
磨料
磨损试验
性能
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Keywords
hard coating
abrasive wear test
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分类号
TH117.1
[机械工程—机械设计及理论]
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题名PCVD-TiN涂层及其钢基体的热处理
被引量:3
- 8
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作者
彭红瑞
赵程
石玉龙
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1999年第1期44-47,共4页
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基金
山东省自然科学基金
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文摘
在Cr12钢基体上用PCVD法沉积TiN涂层后,再进行热处理强化基体的研究。结果表明,热处理后,PCVDTiN涂层的显微硬度略有提高。X射线衍射分析表明,经过热处理后,PCVDTiN涂层的晶体结构更趋于完整,其晶面间距也更接近或达到TiN晶面间距的标准值。同时,PCVDTiN涂层的致密性有所增加,其(200)晶面织构有所增强。而且,经过热处理后PCVDTiN涂层与基体结合良好。
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关键词
工具钢
涂层
PVCD
TIN涂层
热处理
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Keywords
PCVDTiNcoatings
heattreatment
Xraydiffractionanalysis
SEMsurfaceview
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
TG142.405
[金属学及工艺—金属材料]
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题名PCVD-Ti(CNO)薄膜的性能及结构分析
被引量:1
- 9
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作者
彭红瑞
赵程
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1998年第4期320-323,共4页
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基金
山东省自然科学基金
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文摘
研究了Ti(CN)薄膜内氧的作用,研究结果表明,Ti(CN)薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构,薄膜的断面呈致密的纤维状组织。随着反应气体中空气或CO2气体流量的增加,Ti(CNO)薄膜的硬度呈上升趋势,并在空气的流量为40mL·min-1或CO2的流量为15mL·min-1时(分别约占气体总量的15%和6%),薄膜的硬度达到最大值。
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关键词
PCVD
Ti(CNO)薄膜
制备
结构
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Keywords
plasma CVD
Ti(CNO) film
microhardness
X ray diffraction analysis
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分类号
O484.1
[理学—固体物理]
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名气相中晶体生长与外延的方法
被引量:1
- 10
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作者
石玉龙
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1993年第4期51-55,共5页
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文摘
介绍了气相中晶体生长的方法,如辉光放电溅射法和离子束溅射沉积法以及晶体外延生长的方法。
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关键词
分子束外延
化学气相沉积
晶体生长
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Keywords
glow discharge sputtering
molecular beam epitaxy
chemical vapor deposition
crystal growth
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分类号
O782.9
[理学—晶体学]
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题名辅助加热PCVD-TiN薄膜的制备及影响因素
- 11
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作者
彭红瑞
石玉龙
谢雁
李世直
赵程
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
1998年第3期273-277,共5页
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文摘
研究了反应气体对辅助加热PCVDTiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量可以提高薄膜的沉积速率,而且对薄膜内的氯含量没有影响。提高反应气体中的V(H2)/V(N2)可以略降低薄膜内的氯含量,在V(H2)/V(N2)=2,TiCl4的体积分数为10%左右时TiN薄膜的硬度最高。随着反应气压的升高,沉积速率呈正比上升而显微硬度却下降。
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关键词
辅助加热
PCVD
TIN薄膜
薄膜
制备
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Keywords
auxiliary heating
plasma CVD
reaction gases
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
TB43
[一般工业技术]
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题名沉积电压对辅助加热PCVD-TiN涂层的影响
- 12
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作者
赵程
彭红瑞
谢广文
李世直
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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出处
《青岛化工学院学报(自然科学版)》
2000年第2期131-133,共3页
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基金
山东省自然科学基金项目 !(F110 93)
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文摘
研究了不同的沉积电压对辅助加热式PCVD -TiN涂层的影响。实验证明 ,提高沉积电压可以细化TiN涂层的柱状晶结构 ,增加TiN涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内 。
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关键词
辅助加热式
PCVD
沉积电压
氮化钛
涂层
沉积
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Keywords
auxiliary heat PCVD
TiN coating
deposition voltage
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名大型钢制构件防腐蚀化学镀镍工艺存在的问题及对策
- 13
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作者
谢广文
王桂雪
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机构
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
青岛碱业股份有限公司
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出处
《化工设备与防腐蚀》
2000年第4期63-64,共2页
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文摘
对大型钢制构件防腐蚀化学镀镍工艺存在的问题进行了探讨,并提出了解决方法。
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关键词
防腐蚀
化学镀镍
镀镍
电镀
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分类号
TG174.44
[金属学及工艺—金属表面处理]
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