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基于EtherCAT的液晶驱动测试数字化管理技术
1
作者
刘春来
张东
《电子测量技术》
2016年第10期1-5,共5页
液晶屏显示驱动芯片测试环节贯穿在显示驱动芯片的设计、制造与应用的全过程中,是保证芯片品质的重要手段。由于测试系统需要匹配的驱动芯片型号较多,单个型号芯片的测试项以及测试信号数量巨大,若使用人工记录的方式,则测试效率低下,...
液晶屏显示驱动芯片测试环节贯穿在显示驱动芯片的设计、制造与应用的全过程中,是保证芯片品质的重要手段。由于测试系统需要匹配的驱动芯片型号较多,单个型号芯片的测试项以及测试信号数量巨大,若使用人工记录的方式,则测试效率低下,管理成本高昂。有必要针对整个测试系统开发数字化管理技术,利用该技术可以将系统中所有的设备、人员、数据进行数字化管理。为实现数据交换的实时性和高效性,系统采用了工业以太网EtherCAT技术,实现服务器与设备客户端的紧密工作。经验证表明,通过使用这些技术,能够提高记录测试历史数据的方便性、快捷性、提高系统可扩展性,使得系统只需添加设备客户端或给客户端添加硬件模块并升级系统软件,便可方便的完成系统升级。
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关键词
液晶显示驱动芯片
数字化管理
芯片测试
工业以太网
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职称材料
基于ATE的MCU芯片并行测试技术研究
被引量:
12
2
作者
刘媛媛
高剑
蒋常斌
《电子测量技术》
2020年第4期116-120,共5页
讨论了MCU芯片测试需求及难点,针对测试过程中可能会遇到的接口板通用性和信号完整性问题给出解决方案。以FPGA为主控器件设计继电器矩阵控制电路,并通过阻抗匹配和等延时设计使多通道信号达到可靠性要求。解决了测试系统接口板的单一...
讨论了MCU芯片测试需求及难点,针对测试过程中可能会遇到的接口板通用性和信号完整性问题给出解决方案。以FPGA为主控器件设计继电器矩阵控制电路,并通过阻抗匹配和等延时设计使多通道信号达到可靠性要求。解决了测试系统接口板的单一性、专用性问题,缩短了开发周期。通过自动测试系统验证,MCU芯片并行测试实验中功能匹配测试、频率测试和参数测试可独立使用测试资源,实现了完全并行测试,与传统串行测试方法相比节约了测试时间,提高了芯片测试效率。
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关键词
微控制单元
并行测试
继电器矩阵
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职称材料
一种电容薄膜真空计检测电路的设计
被引量:
3
3
作者
康恒
李勇滔
+1 位作者
李超波
景玉鹏
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第3期45-48,共4页
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负...
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27%降低到0.662%。实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4%,电路稳定性较好。
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关键词
电容薄膜真空计
电容检测
非线性
负反馈
补偿
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职称材料
圆片测试中的熔丝修调方法研究
被引量:
2
4
作者
高剑
赵影
李杰
《电子测量技术》
2016年第6期15-19,共5页
熔丝修调因工艺简单、速度快,被广泛用于混合信号电路芯片的圆片测试中,但其类型多样,控制电路繁琐,修调受电阻变化的影响且不可恢复,因此精度不易控制,测试效率低。针对此问题,提出一种对串行、并行结构通用的测试系统修调控制电路,展...
熔丝修调因工艺简单、速度快,被广泛用于混合信号电路芯片的圆片测试中,但其类型多样,控制电路繁琐,修调受电阻变化的影响且不可恢复,因此精度不易控制,测试效率低。针对此问题,提出一种对串行、并行结构通用的测试系统修调控制电路,展示了减小测试误差的计算方法,最后,改进了传统测试流程,提出了以合并测试步骤及并行测试为基础的简化方法。测试结果表明,该方法操作性强,能够有效提高测试效率和准确率。
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关键词
混合信号电路
修调
熔丝
圆片测试
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职称材料
一种HDMI测试系统的设计与实现
被引量:
6
5
作者
高剑
《电子测量技术》
2017年第5期99-103,共5页
高清晰度多媒体接口(HDMI)在数字多媒体领域中被广泛应用,由于其传输速度快,传统ATE无法直接测试。为此设计了一种针对HDMI的高速测试方法,开发了以芯片解码和同步校验为核心的功能测试模块,该模块可实现对HDMI传输数据的控制、分析、...
高清晰度多媒体接口(HDMI)在数字多媒体领域中被广泛应用,由于其传输速度快,传统ATE无法直接测试。为此设计了一种针对HDMI的高速测试方法,开发了以芯片解码和同步校验为核心的功能测试模块,该模块可实现对HDMI传输数据的控制、分析、通信与监测。将模块嵌入到具备VXI总线的集成电路测试系统中,可实现较完整的功能和直流参数测试。测试实验提示,本方法稳定可靠,测试效率高。
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关键词
高清晰度多媒体接口
功能测试
自动测试系统
校验
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职称材料
电容式触摸屏感应芯片测试方法研究
被引量:
4
6
作者
高剑
张晨阳
《电子测量技术》
2020年第5期156-160,共5页
电容式触摸屏感应芯片由于具备接触感应特性,难以用自动测试系统直接测试,为此,设计了扩展电路与自动测试系统相结合的方法实现此类芯片测试。通过切换偏置电阻实现了芯片电容敏感度、感应频率及偏置电流的设置,并通过电容继电器矩阵控...
电容式触摸屏感应芯片由于具备接触感应特性,难以用自动测试系统直接测试,为此,设计了扩展电路与自动测试系统相结合的方法实现此类芯片测试。通过切换偏置电阻实现了芯片电容敏感度、感应频率及偏置电流的设置,并通过电容继电器矩阵控制调节触点电容,引起芯片输出波形的频率变化,用以高速计数器为核心的频率测量单元测试输出通道频率,从而实现了较完整的直流、交流和功能项的测试。测试实验提示,该方法稳定性好,易于实现模块化,适于并行测试,测试效率较高。
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关键词
电容式触摸屏
感应电路
自动测试系统
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职称材料
脉冲激光沉积技术制备超导铌薄膜及其特性研究
被引量:
3
7
作者
彭明娣
卢维尔
+3 位作者
夏洋
王桐
赵丽莉
李楠
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第A01期105-109,共5页
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅衬底上制备超导Nb薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨X射线光电子能谱(XPS)、综合物性测量系统(PPMS)等测试分析手段,分别考察了不同激光能量、靶基间距、衬底温度对Nb薄膜晶体结构...
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅衬底上制备超导Nb薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨X射线光电子能谱(XPS)、综合物性测量系统(PPMS)等测试分析手段,分别考察了不同激光能量、靶基间距、衬底温度对Nb薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明,Nb薄膜在(110)晶向择优生长,并且随着激光能量的增加,薄膜的结晶质量逐渐提高;合适的衬底温度和靶基间距有利于提高Nb薄膜的结晶性能;在激光能量280 mJ、靶基间距5cm、加热盘温度650℃时制备所得Nb薄膜在(110)晶面半峰宽(FWHM)为0.39°,超导转变温度(Tc)为8.6K,且Nb薄膜具有良好的结晶性能和超导特性。
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关键词
脉冲激光沉积
超导Nb金属薄膜
超导转变温度
超导性能
结晶特性
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职称材料
基于自动测试系统的测试数据格式标准化研究
被引量:
8
8
作者
韩东
郭士瑞
+1 位作者
高剑
李杰
《电子测量技术》
2017年第6期47-52,共6页
为克服因不同自动测试系统生成测试数据不统一,所造成测试效率低下和成本浪费的问题。根据ATE统一测试数据标准格式STDF文件的规范,分析其内部各个模块的处理方法,使用LabWindows/CVI软件环境.设计了一种转换程序,通过算法完成了二进制...
为克服因不同自动测试系统生成测试数据不统一,所造成测试效率低下和成本浪费的问题。根据ATE统一测试数据标准格式STDF文件的规范,分析其内部各个模块的处理方法,使用LabWindows/CVI软件环境.设计了一种转换程序,通过算法完成了二进制文件STDF与文本文件的双向转换,通过对比转换生成的文本和标准ATD文本.验证了程序转换结果的正确性,最后将转换程序植入国产自动测试系统BC3192V50,从而实现测试数据标准化。测试实验结果表明,该算法能够高效的实现双向转换,规范了测试数据的结构.提升了测试数据的可分析性。
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关键词
自动测试系统
二进制文件
测试数据标准化
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职称材料
基于测试系统的测试向量工具设计研究
被引量:
2
9
作者
赵霞
高剑
李杰
《电子测量技术》
2019年第6期12-16,共5页
测试向量工具作为集成电路测试系统软件的重要组成部分,其性能直接影响整个自动测试系统的工作效率。通过分析确定了测试向量工具的功能结构,研究了开发测试向量工具的关键技术,并重点对比了使用Table和ReportX控件设计向量工具的方法...
测试向量工具作为集成电路测试系统软件的重要组成部分,其性能直接影响整个自动测试系统的工作效率。通过分析确定了测试向量工具的功能结构,研究了开发测试向量工具的关键技术,并重点对比了使用Table和ReportX控件设计向量工具的方法。经过分析,利用ReportX组件完成了测试向量工具的开发,并将其嵌入到国产测试系统BC3192。最后在实际环境中进行了测试,并验证了测试向量工具的良好性能。通过对ActiveX Control技术的应用,可以使虚拟仪器开发变得更为完善和强大。
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关键词
测试向量工具
测试向量
LABWINDOWS/CVI
表格
TABLE
ACTIVEX
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职称材料
散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试
被引量:
1
10
作者
陈楠
王玥
+1 位作者
刘涛
夏洋
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期195-203,共9页
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和...
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。
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关键词
散射式扫描近场光学显微镜
扫描探针技术
近场光学
衍射极限
超分辨
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职称材料
化学气相沉积技术制备亚厘米尺寸单晶石墨烯的工艺研究
被引量:
1
11
作者
王延伟
卢维尔
+1 位作者
闫美菊
夏洋
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1-5,共5页
本实验以多晶铜为基底,研究了利用化学气相沉积(CVD)技术制备不同尺寸的单晶石墨烯的工艺。对比了铜基底预处理方法、气体流量、压强和生长时间对单晶石墨烯尺寸及表面形貌的影响,结果表明,Ar和O2预处理可以降低石墨烯的成核密度,适当的...
本实验以多晶铜为基底,研究了利用化学气相沉积(CVD)技术制备不同尺寸的单晶石墨烯的工艺。对比了铜基底预处理方法、气体流量、压强和生长时间对单晶石墨烯尺寸及表面形貌的影响,结果表明,Ar和O2预处理可以降低石墨烯的成核密度,适当的CH4浓度便于单晶石墨烯的生长,压强的大小影响单晶的形貌,生长时间决定了单晶的尺寸。通过对预处理气体及流量、生长压强和时间等参数的调节,获得了0. 01~6 mm单晶石墨烯的可靠制备工艺。在常压101. 325 k Pa、铜基底经Ar和O2预处理、生长温度1 068℃、600 sccm H2和25 sccm CH4的气体条件下,制备出6 mm的单晶石墨烯。此外,本实验还对石墨烯制备过程中杂质颗粒的形成机理进行了研究,发现引入的杂质颗粒可能是基底Cu氧化后的结晶颗粒以及石英管在高温条件下硅的脱落。本研究所得不同尺寸单晶石墨烯的可靠制备方法为新型电子器件的发展提供了有力的支撑。
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关键词
化学气相沉积
单晶石墨烯
大尺寸
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职称材料
基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统
被引量:
4
12
作者
王玥
陈楠
+2 位作者
王博雨
刘涛
夏洋
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1666-1673,共8页
近红外傅里叶变换光谱仪作为一种常用的科研级近红外光谱检测仪器,广泛应用于各个科研领域。目前的近红外光谱仪着重于光谱分辨率方面的提升,在光谱信噪比提升方面关注较少。光谱信噪比直接影响光谱线指数测量精度的优劣,光谱信噪比越高...
近红外傅里叶变换光谱仪作为一种常用的科研级近红外光谱检测仪器,广泛应用于各个科研领域。目前的近红外光谱仪着重于光谱分辨率方面的提升,在光谱信噪比提升方面关注较少。光谱信噪比直接影响光谱线指数测量精度的优劣,光谱信噪比越高,光谱线指数测量精度越高,越有利于对微量物质进行精细光谱比对。因此,提升光谱仪的光谱信噪比是十分必要的。对比常用的钨灯光源,激光驱动等离子体光源(LDLS)不仅在近红外区域具有高光照强度的优点,而且其独特的高频调制输出信号在经锁相放大器调制解调后能够很好的抑制背景信号对干涉光谱所带来的影响。高亮度与辐射调制的结合使得以LDLS作为光源的近红外傅里叶变换光谱系统在光谱信噪比方面获得显著提升。基于上述原因,提出利用新型激光驱动等离子体光源作为光谱信号输出源的近红外傅里叶变换光谱系统,并与含有调制能力的钨灯光源搭建的近红外傅里叶变换光谱系统进行了信噪比的比较实验。首先利用钨灯光源由斩波器高频调制再经过锁相放大器解调的方式,对锁相放大器积分时间进行优化并通过计算干涉光谱信噪比进行评估,分别对比了积分时间为0.5,1,5,10和20 ms的干涉光谱信噪比与对称度,确定后续系统中的锁相放大器最佳积分时间为5 ms,该状态下钨灯光源所实现的干涉光谱信噪比经计算约为90∶1;其次利用激光驱动等离子体光源代替钨灯光源和斩波器,在最佳积分时间下进行干涉光谱信噪比对比评估,结果表明激光驱动等离子体光源的干涉光谱信噪比与传统钨灯光源相比提升111倍;最后,利用近红外标准片对系统进行光谱测量准确性评估,结果表明利用该光源的近红外傅里叶变换光谱系统的近红外吸收峰值误差<0.5 nm,具有高光谱准确性与分辨能力。
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关键词
傅里叶变换光谱仪
激光等离子体
近红外光谱技术
锁相放大
信噪比
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职称材料
Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析
被引量:
2
13
作者
李磊
张明烨
+3 位作者
冷兴龙
张凌云
夏洋
刘涛
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第10期5-9,共5页
为了探究微纳加工中的工艺误差对Qplus传感器性能指标的影响,采用基于COMSOL的多物理场有限元数值分析方法建立了包含工艺误差的Qplus传感器仿真模型,评估了湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱、双面光刻对准偏差等典型工艺误差对传感器本征频率...
为了探究微纳加工中的工艺误差对Qplus传感器性能指标的影响,采用基于COMSOL的多物理场有限元数值分析方法建立了包含工艺误差的Qplus传感器仿真模型,评估了湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱、双面光刻对准偏差等典型工艺误差对传感器本征频率、弹性系数以及品质因子的影响,并将仿真结果与实测值进行了对比,验证了仿真方法的准确性。结果表明:传感器的弹性系数及本征频率会因为湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱明显提高,品质因子受工艺误差影响较小,变化幅度小于10%。分析方法有助于Qplus传感器的设计优化,使制备出的传感器性能参数更接近于预期设计值,同时为其他基于石英的MEMS传感器的仿真设计提供借鉴。
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关键词
Qplus传感器
微电子机械系统
工艺误差
有限元仿真
石英单晶
原子力显微镜
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职称材料
纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究
14
作者
崔绍晖
符庭钊
+2 位作者
王欢
夏洋
李超波
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期481-487,共7页
为了实现低成本高灵敏度的表面增强拉曼散射效应,制备了一种基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼散射效应(SERS)衬底。首先利用低能反应离子注入的方法对单晶硅进行表面处理,制作高陡值度的墙壁结构。然后采用电子束蒸发的方式在硅片表面...
为了实现低成本高灵敏度的表面增强拉曼散射效应,制备了一种基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼散射效应(SERS)衬底。首先利用低能反应离子注入的方法对单晶硅进行表面处理,制作高陡值度的墙壁结构。然后采用电子束蒸发的方式在硅片表面蒸镀银膜,高密度的银纳米点阵列出现在侧壁表面,形成大量的热点。实验采用罗丹明6G(R6G)作为探针分子进行表征,发现获得最强拉曼信号的银膜厚度为40 nm,R6G的探测极限能达到10^(-14)mol/L;同时分析衬底的重复性和稳定性,发现在614 cm^(-1)和1 650 cm^(-1)处的拉曼信号特征峰的相对标准偏差分别达到12.3%和14.3%,保存一个月的衬底测得的拉曼信号强度保持不变。本研究提供了一种操作简单、成本低的制备高灵敏度增强拉曼效应衬底的方法,制备的衬底具有高信号可重复性和高稳定性的优点。
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关键词
表面增强拉曼散射效应
反应离子注入
银纳米点
电子束蒸发
低成本
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职称材料
Ar/CO/NH_3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层
15
作者
刘上贤
汪明刚
夏洋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期675-678,717,共5页
基于磁性合金的等离子体刻蚀工艺,在中国科学院微电子研究所自主研发的刻蚀设备中,使用Ar,CO和NH3的混合气体对用于形成磁随机存储器(MRAM)的多种磁性金属叠层进行刻蚀。采用两步刻蚀的方法刻蚀了多层磁性金属叠层,每一步的刻蚀气体组...
基于磁性合金的等离子体刻蚀工艺,在中国科学院微电子研究所自主研发的刻蚀设备中,使用Ar,CO和NH3的混合气体对用于形成磁随机存储器(MRAM)的多种磁性金属叠层进行刻蚀。采用两步刻蚀的方法刻蚀了多层磁性金属叠层,每一步的刻蚀气体组分不同,研究了Ar气在混合气体中的体积分数对材料刻蚀速率和侧壁形貌的影响。结果表明,刻蚀速率随着Ar气体积分数的增加而增加,而侧壁倾角则随着Ar气体积分数的增加而减小。两步刻蚀的方法可以根据材料的结构特点来控制Ar离子轰击的作用,可以得到大于21.4 nm/min的刻蚀速率和约90°的侧壁倾角。
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关键词
磁性材料
等离子体刻蚀
Ar/CO/NH3
磁随机存储器(MRAM)
多步刻蚀
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职称材料
题名
基于EtherCAT的液晶驱动测试数字化管理技术
1
作者
刘春来
张东
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2016年第10期1-5,共5页
基金
北京市科学技术研究院科技创新工程项目(PXM2015_178102_000004)资助
文摘
液晶屏显示驱动芯片测试环节贯穿在显示驱动芯片的设计、制造与应用的全过程中,是保证芯片品质的重要手段。由于测试系统需要匹配的驱动芯片型号较多,单个型号芯片的测试项以及测试信号数量巨大,若使用人工记录的方式,则测试效率低下,管理成本高昂。有必要针对整个测试系统开发数字化管理技术,利用该技术可以将系统中所有的设备、人员、数据进行数字化管理。为实现数据交换的实时性和高效性,系统采用了工业以太网EtherCAT技术,实现服务器与设备客户端的紧密工作。经验证表明,通过使用这些技术,能够提高记录测试历史数据的方便性、快捷性、提高系统可扩展性,使得系统只需添加设备客户端或给客户端添加硬件模块并升级系统软件,便可方便的完成系统升级。
关键词
液晶显示驱动芯片
数字化管理
芯片测试
工业以太网
Keywords
LCD driver chip
digital management
chip test
EtherCAT
分类号
TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于ATE的MCU芯片并行测试技术研究
被引量:
12
2
作者
刘媛媛
高剑
蒋常斌
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
北方工业大学
出处
《电子测量技术》
2020年第4期116-120,共5页
文摘
讨论了MCU芯片测试需求及难点,针对测试过程中可能会遇到的接口板通用性和信号完整性问题给出解决方案。以FPGA为主控器件设计继电器矩阵控制电路,并通过阻抗匹配和等延时设计使多通道信号达到可靠性要求。解决了测试系统接口板的单一性、专用性问题,缩短了开发周期。通过自动测试系统验证,MCU芯片并行测试实验中功能匹配测试、频率测试和参数测试可独立使用测试资源,实现了完全并行测试,与传统串行测试方法相比节约了测试时间,提高了芯片测试效率。
关键词
微控制单元
并行测试
继电器矩阵
Keywords
mcrocontroller unit(MCU)
parallel testing
relay matrix
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种电容薄膜真空计检测电路的设计
被引量:
3
3
作者
康恒
李勇滔
李超波
景玉鹏
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019年第3期45-48,共4页
基金
国家重大科技专项项目(2017ZX02201002)
文摘
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27%降低到0.662%。实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4%,电路稳定性较好。
关键词
电容薄膜真空计
电容检测
非线性
负反馈
补偿
Keywords
capacitive film vacuum gauge
capacitance detection
non-linearity
negative feedback
compensate
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
圆片测试中的熔丝修调方法研究
被引量:
2
4
作者
高剑
赵影
李杰
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2016年第6期15-19,共5页
基金
北京市自然科学基金委员会-北京市科学技术研究院联合(L150009)资助项目
文摘
熔丝修调因工艺简单、速度快,被广泛用于混合信号电路芯片的圆片测试中,但其类型多样,控制电路繁琐,修调受电阻变化的影响且不可恢复,因此精度不易控制,测试效率低。针对此问题,提出一种对串行、并行结构通用的测试系统修调控制电路,展示了减小测试误差的计算方法,最后,改进了传统测试流程,提出了以合并测试步骤及并行测试为基础的简化方法。测试结果表明,该方法操作性强,能够有效提高测试效率和准确率。
关键词
混合信号电路
修调
熔丝
圆片测试
Keywords
mixed signal circuit
trim
fuse
wafer test
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种HDMI测试系统的设计与实现
被引量:
6
5
作者
高剑
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2017年第5期99-103,共5页
基金
北京市自然科学基金委员会-北京市科学技术研究院(L150009)资助项目
文摘
高清晰度多媒体接口(HDMI)在数字多媒体领域中被广泛应用,由于其传输速度快,传统ATE无法直接测试。为此设计了一种针对HDMI的高速测试方法,开发了以芯片解码和同步校验为核心的功能测试模块,该模块可实现对HDMI传输数据的控制、分析、通信与监测。将模块嵌入到具备VXI总线的集成电路测试系统中,可实现较完整的功能和直流参数测试。测试实验提示,本方法稳定可靠,测试效率高。
关键词
高清晰度多媒体接口
功能测试
自动测试系统
校验
Keywords
high definition muhimedia interface(HDMl)
function test
automatic test equipment(ATE)
check
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电容式触摸屏感应芯片测试方法研究
被引量:
4
6
作者
高剑
张晨阳
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2020年第5期156-160,共5页
文摘
电容式触摸屏感应芯片由于具备接触感应特性,难以用自动测试系统直接测试,为此,设计了扩展电路与自动测试系统相结合的方法实现此类芯片测试。通过切换偏置电阻实现了芯片电容敏感度、感应频率及偏置电流的设置,并通过电容继电器矩阵控制调节触点电容,引起芯片输出波形的频率变化,用以高速计数器为核心的频率测量单元测试输出通道频率,从而实现了较完整的直流、交流和功能项的测试。测试实验提示,该方法稳定性好,易于实现模块化,适于并行测试,测试效率较高。
关键词
电容式触摸屏
感应电路
自动测试系统
Keywords
capacitive touch screen
induction circuit
automatic test equipment(ATE)
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
脉冲激光沉积技术制备超导铌薄膜及其特性研究
被引量:
3
7
作者
彭明娣
卢维尔
夏洋
王桐
赵丽莉
李楠
机构
中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研究中心
北京
交通大学理学院
中国科学院微电子研究所微电子器件与
集成
技术
重点
实验室
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第A01期105-109,共5页
基金
国家自然科学基金青年基金(61604175
61404170)
文摘
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅衬底上制备超导Nb薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨X射线光电子能谱(XPS)、综合物性测量系统(PPMS)等测试分析手段,分别考察了不同激光能量、靶基间距、衬底温度对Nb薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明,Nb薄膜在(110)晶向择优生长,并且随着激光能量的增加,薄膜的结晶质量逐渐提高;合适的衬底温度和靶基间距有利于提高Nb薄膜的结晶性能;在激光能量280 mJ、靶基间距5cm、加热盘温度650℃时制备所得Nb薄膜在(110)晶面半峰宽(FWHM)为0.39°,超导转变温度(Tc)为8.6K,且Nb薄膜具有良好的结晶性能和超导特性。
关键词
脉冲激光沉积
超导Nb金属薄膜
超导转变温度
超导性能
结晶特性
Keywords
pulsed laser deposition
superconducting Nb metal thin film
superconducting transition temperature
superconducting property
crystalline propertyFull
分类号
TN604 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
基于自动测试系统的测试数据格式标准化研究
被引量:
8
8
作者
韩东
郭士瑞
高剑
李杰
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2017年第6期47-52,共6页
基金
北京市自然科学基金委员会-北京市科学技术研究院联合资助项目(L150009)
文摘
为克服因不同自动测试系统生成测试数据不统一,所造成测试效率低下和成本浪费的问题。根据ATE统一测试数据标准格式STDF文件的规范,分析其内部各个模块的处理方法,使用LabWindows/CVI软件环境.设计了一种转换程序,通过算法完成了二进制文件STDF与文本文件的双向转换,通过对比转换生成的文本和标准ATD文本.验证了程序转换结果的正确性,最后将转换程序植入国产自动测试系统BC3192V50,从而实现测试数据标准化。测试实验结果表明,该算法能够高效的实现双向转换,规范了测试数据的结构.提升了测试数据的可分析性。
关键词
自动测试系统
二进制文件
测试数据标准化
Keywords
ATE
binary file
STDF
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于测试系统的测试向量工具设计研究
被引量:
2
9
作者
赵霞
高剑
李杰
机构
北京
自动
测试
技术
研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《电子测量技术》
2019年第6期12-16,共5页
基金
北京市科学技术研究院萌芽项目(GS201821)资助
文摘
测试向量工具作为集成电路测试系统软件的重要组成部分,其性能直接影响整个自动测试系统的工作效率。通过分析确定了测试向量工具的功能结构,研究了开发测试向量工具的关键技术,并重点对比了使用Table和ReportX控件设计向量工具的方法。经过分析,利用ReportX组件完成了测试向量工具的开发,并将其嵌入到国产测试系统BC3192。最后在实际环境中进行了测试,并验证了测试向量工具的良好性能。通过对ActiveX Control技术的应用,可以使虚拟仪器开发变得更为完善和强大。
关键词
测试向量工具
测试向量
LABWINDOWS/CVI
表格
TABLE
ACTIVEX
Keywords
pattern tools
test vector
LabWindows/CVI
form
Table
ActiveX
分类号
TP311.56 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试
被引量:
1
10
作者
陈楠
王玥
刘涛
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
北京市
微电子制备仪器设备工程
技术
研究中心
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期195-203,共9页
基金
国家自然科学基金重大科研仪器研制专项(No.61427901)
国家重点研发计划(No.2018YFA0704804)
中国科学院科研装备研制项目(No.YJKYYQ20180033)。
文摘
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。
关键词
散射式扫描近场光学显微镜
扫描探针技术
近场光学
衍射极限
超分辨
Keywords
Scattering-type scanning near field optical microscopy
Scanning probe microscope
Near field optics
Diffraction limit
Super-resolution
分类号
O436.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
化学气相沉积技术制备亚厘米尺寸单晶石墨烯的工艺研究
被引量:
1
11
作者
王延伟
卢维尔
闫美菊
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所仪器设备研发中心
北京
交通大学理学院
北京市
微电子制备仪器设备工程
技术
研究中心
集成电路测试技术北京市重点实验室
中国科学院大学
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1-5,共5页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(61604175)
国家自然科学基金(61427901)~~
文摘
本实验以多晶铜为基底,研究了利用化学气相沉积(CVD)技术制备不同尺寸的单晶石墨烯的工艺。对比了铜基底预处理方法、气体流量、压强和生长时间对单晶石墨烯尺寸及表面形貌的影响,结果表明,Ar和O2预处理可以降低石墨烯的成核密度,适当的CH4浓度便于单晶石墨烯的生长,压强的大小影响单晶的形貌,生长时间决定了单晶的尺寸。通过对预处理气体及流量、生长压强和时间等参数的调节,获得了0. 01~6 mm单晶石墨烯的可靠制备工艺。在常压101. 325 k Pa、铜基底经Ar和O2预处理、生长温度1 068℃、600 sccm H2和25 sccm CH4的气体条件下,制备出6 mm的单晶石墨烯。此外,本实验还对石墨烯制备过程中杂质颗粒的形成机理进行了研究,发现引入的杂质颗粒可能是基底Cu氧化后的结晶颗粒以及石英管在高温条件下硅的脱落。本研究所得不同尺寸单晶石墨烯的可靠制备方法为新型电子器件的发展提供了有力的支撑。
关键词
化学气相沉积
单晶石墨烯
大尺寸
Keywords
chemical vapor deposition
single crystal graphene
big sizes
分类号
O474.1 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统
被引量:
4
12
作者
王玥
陈楠
王博雨
刘涛
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
北京市
微电子制备仪器设备工程
技术
研究中心
集成电路测试技术北京市重点实验室
北京
交通大学研究生院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1666-1673,共8页
基金
国家重点研发计划项目(2018YFA0704804)
中国科学院关键技术团队项目(GJJSTD20200005,GJJSTD20200003)
中国科学院科研装备研制项目(YJKYYQ20180035)资助。
文摘
近红外傅里叶变换光谱仪作为一种常用的科研级近红外光谱检测仪器,广泛应用于各个科研领域。目前的近红外光谱仪着重于光谱分辨率方面的提升,在光谱信噪比提升方面关注较少。光谱信噪比直接影响光谱线指数测量精度的优劣,光谱信噪比越高,光谱线指数测量精度越高,越有利于对微量物质进行精细光谱比对。因此,提升光谱仪的光谱信噪比是十分必要的。对比常用的钨灯光源,激光驱动等离子体光源(LDLS)不仅在近红外区域具有高光照强度的优点,而且其独特的高频调制输出信号在经锁相放大器调制解调后能够很好的抑制背景信号对干涉光谱所带来的影响。高亮度与辐射调制的结合使得以LDLS作为光源的近红外傅里叶变换光谱系统在光谱信噪比方面获得显著提升。基于上述原因,提出利用新型激光驱动等离子体光源作为光谱信号输出源的近红外傅里叶变换光谱系统,并与含有调制能力的钨灯光源搭建的近红外傅里叶变换光谱系统进行了信噪比的比较实验。首先利用钨灯光源由斩波器高频调制再经过锁相放大器解调的方式,对锁相放大器积分时间进行优化并通过计算干涉光谱信噪比进行评估,分别对比了积分时间为0.5,1,5,10和20 ms的干涉光谱信噪比与对称度,确定后续系统中的锁相放大器最佳积分时间为5 ms,该状态下钨灯光源所实现的干涉光谱信噪比经计算约为90∶1;其次利用激光驱动等离子体光源代替钨灯光源和斩波器,在最佳积分时间下进行干涉光谱信噪比对比评估,结果表明激光驱动等离子体光源的干涉光谱信噪比与传统钨灯光源相比提升111倍;最后,利用近红外标准片对系统进行光谱测量准确性评估,结果表明利用该光源的近红外傅里叶变换光谱系统的近红外吸收峰值误差<0.5 nm,具有高光谱准确性与分辨能力。
关键词
傅里叶变换光谱仪
激光等离子体
近红外光谱技术
锁相放大
信噪比
Keywords
Fourier transform spectrometer
Laser plasma
Near infrared spectroscopy
Lock-in amplifier
Signal-to-noise ratio
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析
被引量:
2
13
作者
李磊
张明烨
冷兴龙
张凌云
夏洋
刘涛
机构
中国科学院大学
中国科学院微电子研究所
北京市
微电子制备仪器设备工程
技术
研究中心
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第10期5-9,共5页
基金
国家重点研发计划基金资助项目(2018YFA0704804)
中科院关键技术团队基金资助项目(GJJSTD20200003,GJJSTD20200005)。
文摘
为了探究微纳加工中的工艺误差对Qplus传感器性能指标的影响,采用基于COMSOL的多物理场有限元数值分析方法建立了包含工艺误差的Qplus传感器仿真模型,评估了湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱、双面光刻对准偏差等典型工艺误差对传感器本征频率、弹性系数以及品质因子的影响,并将仿真结果与实测值进行了对比,验证了仿真方法的准确性。结果表明:传感器的弹性系数及本征频率会因为湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱明显提高,品质因子受工艺误差影响较小,变化幅度小于10%。分析方法有助于Qplus传感器的设计优化,使制备出的传感器性能参数更接近于预期设计值,同时为其他基于石英的MEMS传感器的仿真设计提供借鉴。
关键词
Qplus传感器
微电子机械系统
工艺误差
有限元仿真
石英单晶
原子力显微镜
Keywords
Qplus sensor
micro-electro-mechanical system(MEMS)
process error
finite element simulation
Quartz single crystal
atomic force microscope
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究
14
作者
崔绍晖
符庭钊
王欢
夏洋
李超波
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期481-487,共7页
基金
北京市科技计划(Z161100001516014)
中国科学院青年创新促进会(李超波)(Y6Y101R001)资助项目~~
文摘
为了实现低成本高灵敏度的表面增强拉曼散射效应,制备了一种基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼散射效应(SERS)衬底。首先利用低能反应离子注入的方法对单晶硅进行表面处理,制作高陡值度的墙壁结构。然后采用电子束蒸发的方式在硅片表面蒸镀银膜,高密度的银纳米点阵列出现在侧壁表面,形成大量的热点。实验采用罗丹明6G(R6G)作为探针分子进行表征,发现获得最强拉曼信号的银膜厚度为40 nm,R6G的探测极限能达到10^(-14)mol/L;同时分析衬底的重复性和稳定性,发现在614 cm^(-1)和1 650 cm^(-1)处的拉曼信号特征峰的相对标准偏差分别达到12.3%和14.3%,保存一个月的衬底测得的拉曼信号强度保持不变。本研究提供了一种操作简单、成本低的制备高灵敏度增强拉曼效应衬底的方法,制备的衬底具有高信号可重复性和高稳定性的优点。
关键词
表面增强拉曼散射效应
反应离子注入
银纳米点
电子束蒸发
低成本
Keywords
surface-enhanced Raman scattering
reactive ion implantation
Ag nanoparticles
electron beam evaporation
low cost
分类号
O657.37 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
Ar/CO/NH_3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层
15
作者
刘上贤
汪明刚
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所微电子器件与
集成
技术
重点
实验室
中国科学院微电子研究所
集成电路测试技术北京市重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期675-678,717,共5页
文摘
基于磁性合金的等离子体刻蚀工艺,在中国科学院微电子研究所自主研发的刻蚀设备中,使用Ar,CO和NH3的混合气体对用于形成磁随机存储器(MRAM)的多种磁性金属叠层进行刻蚀。采用两步刻蚀的方法刻蚀了多层磁性金属叠层,每一步的刻蚀气体组分不同,研究了Ar气在混合气体中的体积分数对材料刻蚀速率和侧壁形貌的影响。结果表明,刻蚀速率随着Ar气体积分数的增加而增加,而侧壁倾角则随着Ar气体积分数的增加而减小。两步刻蚀的方法可以根据材料的结构特点来控制Ar离子轰击的作用,可以得到大于21.4 nm/min的刻蚀速率和约90°的侧壁倾角。
关键词
磁性材料
等离子体刻蚀
Ar/CO/NH3
磁随机存储器(MRAM)
多步刻蚀
Keywords
magnetic material
plasma etching
Ar/CO/NH3
magnetic random access memory(MRAM)
multi-step etching process
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于EtherCAT的液晶驱动测试数字化管理技术
刘春来
张东
《电子测量技术》
2016
0
在线阅读
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职称材料
2
基于ATE的MCU芯片并行测试技术研究
刘媛媛
高剑
蒋常斌
《电子测量技术》
2020
12
在线阅读
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职称材料
3
一种电容薄膜真空计检测电路的设计
康恒
李勇滔
李超波
景玉鹏
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2019
3
在线阅读
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职称材料
4
圆片测试中的熔丝修调方法研究
高剑
赵影
李杰
《电子测量技术》
2016
2
在线阅读
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职称材料
5
一种HDMI测试系统的设计与实现
高剑
《电子测量技术》
2017
6
在线阅读
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职称材料
6
电容式触摸屏感应芯片测试方法研究
高剑
张晨阳
《电子测量技术》
2020
4
在线阅读
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职称材料
7
脉冲激光沉积技术制备超导铌薄膜及其特性研究
彭明娣
卢维尔
夏洋
王桐
赵丽莉
李楠
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
在线阅读
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职称材料
8
基于自动测试系统的测试数据格式标准化研究
韩东
郭士瑞
高剑
李杰
《电子测量技术》
2017
8
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职称材料
9
基于测试系统的测试向量工具设计研究
赵霞
高剑
李杰
《电子测量技术》
2019
2
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职称材料
10
散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试
陈楠
王玥
刘涛
夏洋
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
在线阅读
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职称材料
11
化学气相沉积技术制备亚厘米尺寸单晶石墨烯的工艺研究
王延伟
卢维尔
闫美菊
夏洋
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
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职称材料
12
基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统
王玥
陈楠
王博雨
刘涛
夏洋
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
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职称材料
13
Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析
李磊
张明烨
冷兴龙
张凌云
夏洋
刘涛
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
14
纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究
崔绍晖
符庭钊
王欢
夏洋
李超波
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
在线阅读
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职称材料
15
Ar/CO/NH_3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层
刘上贤
汪明刚
夏洋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
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